써멀 및 이빔 증착기에서 혼합물 또는 화합물 박막을 만드는 경우 참고 사항
박막을 제조하기 위한 많은 방법 중에서 비교적 간단하고, 쉬운 방법이 기상증착 방식입니다. 기상증착을 이용하기 위해서는 불순물을 제거하기 위해 진공시스템이 필요합니다. 진공시스템을 이용한 기상증착 장비는 보통 써멀과 이빔을 이야기 할 수 있습니다. 이 두가지 진공증착 시스템은 기본적으로 물질에 에너지와 힘을 가하여 물질을 녹이고, 가스 형태가 되어 증발되는 것을 이용하여 박막을 제조하는 것입니다. 장비의 구분은 가열 방식으로 구별 할 수 있는데, 써멀은 보트라는 히터를 가열하는 방식이고, 이빔은 전자총이라는 것을 이용하여 전자 충격을 가해 가열하는 방식입니다. 이 장비를 이용하여 혼합물과 화합물을 증착 하는 경우 고려해야 하는 몇가지를 적어 볼까 합니다. 1. 증착 속도를 높이기 위해서는 물질의 온도를 ..
2021.02.17