새로운 스퍼터 타겟으로 교체 한 후 처음 사용하기 전에 해야 할 것

스퍼터 타겟을 새것으로 교체 한 후 공정을 진행하기 전에 프리컨디셔닝 또는 Break In 과정을 진행 해주어야 한다. 브레이크 인 과정은 제조 공정에서 기계적인 과정을 통해 타겟내에 유입될 수 있는 내부 응력을 감소 시키는 과정 또는 표면에 생성 된 얇은 층의 산화물, 질화물 또는 수소화물 층을 제거하는 것이다. 일반적으로 프리컨디셔닝 또는 브레이크 인 과정은 프리 스퍼터링을 통해서 진행한다. 가능한 낮은 전력 밀도, 통산 20~50W이내의 파워로 수분 동안 반복 진행한다. 그리고, 서서히 파워를 증착에 사용하는 파워로 증가시켜야 한다. 이 과정을 통해 플라즈마가 안정되고, 증착 중에 평형 상태의 환경을 유지 가능하다. 모든 공정이 진행 될 때 이것을 반복할 필요는 없으나, 대상에 과도한 스트레스를 주..

2020.04.28