새로운 스퍼터 타겟으로 교체 한 후 처음 사용하기 전에 해야 할 것

 스퍼터 타겟을 새것으로 교체 한 후 공정을 진행하기 전에 프리컨디셔닝 또는 Break In 과정을 진행 해주어야 한다.

 브레이크 인 과정은 제조 공정에서 기계적인 과정을 통해 타겟내에 유입될 수 있는 내부 응력을 감소 시키는 과정 또는 표면에 생성 된 얇은 층의 산화물, 질화물 또는 수소화물 층을 제거하는 것이다. 

 일반적으로 프리컨디셔닝 또는 브레이크 인 과정은 프리 스퍼터링을 통해서 진행한다. 가능한 낮은 전력 밀도, 통산 20~50W이내의 파워로 수분 동안 반복 진행한다. 그리고, 서서히 파워를 증착에 사용하는 파워로 증가시켜야 한다. 이 과정을 통해 플라즈마가 안정되고, 증착 중에 평형 상태의 환경을 유지 가능하다.

 모든 공정이 진행 될 때 이것을 반복할 필요는 없으나, 대상에 과도한 스트레스를 주는 환경이라면, 전력을 천천히 상승 시켜 주는 것이 좋다. 타겟 표면이 안정화 되기 전에 이온 충격으로 인한 열적 스트레스가 발생하게 된다면, 플라즈마 안정에 문제가 생기게 된다.