Evaporator(2)
-
이빔 증착 PVD에서 초점이 2군데 맺히는 경우
이빔 장비에서 초점이 2군데 맺히는 경우가 있다. 이런 경우에는 마그네틱 필드의 초점을 조절하는 폴피스에 문제가 있을 가능성이 많다. 폴피스의 얼라인이 틀어지거나, 자성체 등으로 코팅이 되는 경우를 의심해 보아야 한다. 이때 조심해야 하는 것은 폴피스를 본체에서 절대 때지 않는 것이다. 가끔 폴피스가 떨어졌다가 붙으면 원래의 자성이 틀어지는 경우가 있다. 이경우 이빔이 가운데 들어오지 않는 문제가 있다. 주의 해야 한다. 거의 대부분은 폴피스가 풀리거나 해서 얼라인이 틀어진 경우이기 때문에 반듯하게 맞추어주면 해결되는 경우가 많다.
2023.05.25 -
이빔으로 니켈을 증착 할 때 사용 가능한 라이너는 무엇인가요?
이빔으로 니켈 증착을 많이 합니다. 이때 처음 시작은 그라파이트로 하는 것이 좋습니다. 정상적인 상태라면, 그라파이트 라이너로도 문제없이 증착이 가능합니다. 다만 그라파이트로 증착을 하면서 라이너가 달궈지는 현상이 보인다면, 라이너가 포켓에 맞지 않는 상태입니다. 이런 경우에는 니켈과 그라파이트가 늘어 붙으면서, 깨지게 됩니다. --------------------------------------------------- 라이너가 달궈지는 현상이 없고, 니켈이 라이너에 늘어붙는 현상이 없다면, 구리 라이너로 바꾸어서 사용하면 됩니다. 냉각도 좋고, 열이좀 발생한다고 해도, 늘어붙거나 하는 문제는 없습니다. 구리 라이너로 증착을 한 후 니켈 소스가 라이너와 붙지 않는다면, 정상적인 상태로 보아도 문제 없습니다.
2019.04.24