진공 증착 장비 히터 선정 할 때 참고 할 내용

참고 사이트 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221432019669 Heater - SiC, PBN, W, Graphite lee_jinhwan님의블로그 blog.naver.com 증착 공정에서 산소를 사용하는 경우 제약이 많이 따르게 된다. 고온에서 사용하는 경우에는 구조물들의 내구성에도 신경을 써야 한다. 히터의 라이프 타임을 연장하기 위해 고려해야 하는 내용 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/220781334638 Heater Lifetime 연장 1. KANTHAL 소재 사용 1) 열선은 열을 받으면 산화 피막을 형성하는데 이 피막이 추가적인 산회피막... blog.naver.com 그라파이트 히터와 SiC 코팅 그라파이터 히터의 ..

2021.10.14