이거 예전에 많이 썼는데, 매뉴얼이 안보이네요.

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 ＣＲＹ..

초고진공 배기 영역에서 꼭 필요한 펌프가 이온펌프 입니다. 그리고, 이온펌프에 꼭 있어야 하는 것이 TSP이고요. ​ 이온펌프는 여러 메이커가 있지만, 그 구조는 차이가 크게 없습니다. ​ 저는 주로 에이질런트 제품을 사용하는데, 에이질런트 이온펌프와 TSP 컨트롤러가 인증이 있어서 납품하고 서류 처리하는데 편하더군요. 뭐 특별히 성능면에서 고려하고 사용하지는 않았습니다. 아무래도 메이저 메이커니까 기타 다른 메이커보다 성능도 우수하다고 봅니다. ​ 최근에 TSP를 자동으로 동작할 필요가 있어서 프로그램을 작성하려다 보니, CRC계산을 해야 하더군요. 굉장히 불편합니다. ​ 그냥 켜고 끄기만 하면 되는데요. ​ CRC 계산은 다음과 같습니다. ​ 간단한 명령어 예제를 보면, ​ CRC= hADDR XOR..

모든 진공용 드라이 펌프가 동일하지는 않겠지만, 기본적으로 냉각수를 필요로 하는 펌프의 경우 경고 신호가 발생하게 되고, 일정 시간이 경과하게 되면, 알람을 발생 시키면서 동작이 정지 하게 된다. 경고 유지 시간은 메이커 별로 다르기 때문에, 정확한 동작 순서와 알람 발생 신호는 확인을 해보는 것이 좋다. 만약 냉각수에 문제가 생겨서 바로 정지하는 펌프라면, 안정성에 문제가 있을 수 있다. 공정 도중 냉각수 문제로 펌프가 가 바로 정지해 버리는 경우, 잔류 가스의 처리와 기타 다른 펌프류에 영향을 줄 수 있기 때문이다. 드라이 펌프 냉각수에 문제가 발생하여, 경고 신호가 시스템에 들어간다면, 시스템은 정해진 안전 시퀀시를 따라서 시스템을 정지 할 수 있게 구성해 주어야 한다. 특히 반도체 라인이나 디스플..