진공용 드라이 펌프의 냉각수 문제가 발생하는 경우

 모든 진공용 드라이 펌프가 동일하지는 않겠지만, 기본적으로 냉각수를 필요로 하는 펌프의 경우 경고 신호가 발생하게 되고, 일정 시간이 경과하게 되면, 알람을 발생 시키면서 동작이 정지 하게 된다.

 경고 유지 시간은 메이커 별로 다르기 때문에, 정확한 동작 순서와 알람 발생 신호는 확인을 해보는 것이 좋다.

 만약 냉각수에 문제가 생겨서 바로 정지하는 펌프라면, 안정성에 문제가 있을 수 있다. 공정 도중 냉각수 문제로 펌프가 가 바로 정지해 버리는 경우, 잔류 가스의 처리와 기타 다른 펌프류에 영향을 줄 수 있기 때문이다.

 드라이 펌프 냉각수에 문제가 발생하여, 경고 신호가 시스템에 들어간다면, 시스템은 정해진 안전 시퀀시를 따라서 시스템을 정지 할 수 있게 구성해 주어야 한다. 특히 반도체 라인이나 디스플레이 라인의 MOCVD나 에칭 장비처럼 독가스나 폭발성 가스를 사용하는 경우에는 특히 이런 안전 동작의 구성이 필요하다.