이빔 증착을 하면서 spit 현상이 발생하는 것에 대해서

이빔 증착을 하면서 가끔 발생하는 문제중에 하나가 spit 현상입니다. 보통 용접 불꽃이 튀어 올라가는 것처럼 보이는 경우가 많습니다. 특히, 니켈이나 PT 소스를 처음 녹일 때 많이 볼 수 있습니다. 이러한 spit 현상은 소스가 다공성 공극을 포함하거나 산소를 많이 포함하고 있는 경우 발생 할 수 있습니다. 소스가 가열되면서 소스에 붙어있거나 특정 공간에 포함되어 있던 가스들이 순간적으로 방출되는 것입니다. 이러한 현상이 있는 상태에서 박막을 제조하면, 제대로 된 박막을 얻을 수 없습니다. 이것을 방지하기 위해서는 sock 시간을 충분히 주고, 소스를 한 번에 녹이지 않아야 합니다. 그리고, 소스를 제조하면서 고온 고밀도의 방식으로 제조한 것을 사용하는 것이 하나의 방법입니다. 이빔 공정을 하기전에 ..

2020.04.27