진공 배기를 위한 게터(Getter) 물질에 대해서

게터(Getter)란 화학적으로 활성화된 금속막에 의하여 기체가 흡착되는 작용을 이용하여 진공배기를 할 수 있는 물질을 말한다. 게터는 그 특성에 따라 증발형게터(Evaporable Getter)와 비증발형게터(NonEvaporable Getter)로 두 종류로 나뉜다./ 증발형 게터는 고온의 활성화 공정(Activation process)을 통하여 게터 물질을 증발시켜서 불순기체를 제거하기 때문에 녹는점이 낮고, 쉽게 증발이 이루어지는 물질로 이루어져 있으며, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 진공유지에 가장 많이 이용되고 있다. 비증발형 게터는 증발형 게터가 사용되기 어려운 경우, 즉 증발된 게터로 인해 소자가 오염되는 경우나 활성화 공정 온도가 너무 높은 경우에 사용된다. 비증발형 게터는 ..

2022.02.22