MFC (Mass Flow Controller)1.    질량 유량 컨트롤러는 설정된 유량 신호에 따라 가스의 유량을 자동으로 제어하며, 사용 조건이나 가스 압력 변화에도 영향을 받지 않고 일정한 유량을 유지하고 제어합니다.유량은 크게 다음과 같이 구분 할 수 있습니다.1)    체적 유량(Volumetric Flow)2)    질량 유량(Mass Flow)체적 유량 측정은 주변 온도와 압력의 영향을 받으므로, 실제 유량을 확인하려면 압력과 온도 조건을 측정하고 계산에 포함해야 합니다.반면, 질량 유량 측정은 유체의 질량을 측정하는 방식으로, 온도 및 압력 조건의 영향을 훨씬 적게 받기 때문에 더욱 정확하고 안정적인 유량 측정 및 제어가 가능합니다. 2.    구조1)     유량 센서(Flow Rate..

웨이퍼의 대구경화, 가공의 미세화가 진행되는 것에 따라, 각 프로세스에 있어서의 웨이퍼위의 가공 균일성은 매우 중요한 요소가 되어 있습니다.특히 플라스마를 이용한 프로세스에 대해서는, 균일성을 높이기 위해서 웨이퍼 이면의 온도 제어를 실시할 필요가 있습니다. GR-300 Series는, 그 온도 제어에 불가결한 헬륨 가스나 아르곤 가스등의 전열성 가스의 압력 제어를 행하기 위한 기기로서 주목 받고 있습니다. GR-300 Series는, 폐사 Mass Flow Controller에 채용되고 있는 고속·고분해 Piezo Valve 와 Mass Flow Sensor를 탑재하고 있어, 정확·안정적으로 미세한 차압 제어를 실시할 뿐만 아니라, 유량계측기능도 가지고 있습니다.또 그 용도로서 트랜스퍼 chamber내..

MKS 649B https://www.mksinst.com/f/649b-integrated-pressure-controller 649 Downstream Integrated Pressure Controllers Products Configuration Options The following options are available for 649B Pressure Controllers with Integral Baratron® Manometer and Mass Flow Meter Ordering Code Example: 649B00413T12C2VR Configuration Option Option Code 649B Pressure Controller with www.mksinst.com 에칭이나 cvd 장..