RF 파워를 이용한 플라즈마 공정에서 RF 노이즈 문제와 유전율 확인 필요성

RF파워를 사용하면서 플라즈마를 방전시키는 시스템의 경우 노이즈 발생은 꽤나 자주 심각하게 발생하는 문제 중에 하나이다.이부분에서 생각해 보아야 하는 것이 유전율이다. 유전율과 차폐율은 밀접한 관계가 있다. 보통 RF가 샌다고 많이 이야기 하는데, 전자기파는 전기장과 자기장으로 이루어진 전자기적 파동이기 때문에, 이 파동은 자유롭게 전파 될 수 있다. 이것이 다른 디바이스에 영향을 주면서, 전기적, 자기적으로 오동작 하게 하는 것이 노이즈라고 표현 하는 것이다.이런 노이즈성 전기적 자기적 전파를 차단 하는 것을 차폐라하며, 일부 물질을 사용하여 이러한 효과를 낼 수 있다. 전자기파의 차폐는 전자기파를 차단하는 물리적 특성과 관련 되어있다. 이 특성을 나타내는 것이 바로 유전율이다.유전율은 물질내에서 전자..

2024.07.03