구리는 박막 증착에서 많이 사용되는 물질 입니다. 녹는점은 1083도씨, 밀도는 8.92g/cc, 증기압은 1017도씨에서 10E-4Torr 입니다. 일반적으로 구리의 경우 접촉력이 좋지 않기 때문에, 크롬이나 타이같은 중간층이 필요합니다. 참고자료 써멀 증착을 할 때는 텅스텐이나 몰리브덴 보트를 사용합니다. 증착 소스가 많이 필요한 경우에는 알루미나 도가니와 함께 차폐형 탄탈 도가니 히터를 사용하는 것입니다. 차폐형 히터를 사용하는 경우에는 설치에 유의해야 합니다. 뒤틀리게 되면, 전극이 끊어지게 됩니다. 그밖에도 알루미나 코팅 바스켓을 사용 할 수도 있습니다. 하지만, 알루미나 코팅 바스켓의 경우 몇번 사용하다가 보면, 깨지는 현상이 발생하게 됩니다. 이러한 현상을 최소한으로 줄이기 위해서는 천천히 ..

스퍼터로 박막을 만들때, 일정한 두께 이상으로 증착을 하면 박막이 변색되는 경우가 있습니다. 보통 500nm이상 증착하면서 이런 현상이 많이 발생합니다. 처음 부터 이런 현상이 있는 것이 아니고, 사용하던 어느 시점부터 발생하는 경우도 있습니다. -------------------- 이런 현상의 주요 원인은 챔버의 아웃 개싱입니다. 증상이 나타나는 두께는 챔버의 한계 진공도와도 연관되어 있습니다. 한계 진공도가 좋은 챔버는 이런 현상이 나타나는 시점이 꽤 많은 두께까지 갑니다. 하지만, 한계 진공도가 좋지 않은 챔버는 100nm 이하에서도 이런것이 관찰되는 경우가 있습니다. 그러나, 100nm 이하에서는 변색의 정도가 검은색이거나, 무지개 색으로 나타나는 경우가 더 많습니다. 이런 경우는 아웃개싱 보다는..