장마철 진공 챔버를 적절하게 유지하는 방법

물, 진공 장비와는 밀접한 관계가 있는 물질 입니다.

 

챔버를 이용하여 진공을 만든다는 것은, 결국 물을 배기 하는 과정이라해도 과언이 아닙니다.

장마철에는 이런 물의 관리가 매우 중요합니다. 정확하게는 습도관리라고 해주어야 겠지요.

크린룸이 구성되어 있는 환경이라면, 습도 관리가 되기때문에 크게 문제되지는 않을 것입니다.

다만, 크린룸을 구성하는 설비가 고장나는 일이 많습니다. 크린룸이 공조에 문제가 생겨서 습도 관리가 안되는 상황이라면, 챔버 벤트는 절대하면 안되겠지요.

크린룸 운영시, 공조시설에 문제가 발생했다면, 챔버 개방을 절대 하면 안됩니다.

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크린룸이 없는 실험실, 연구 시설에서 진공 장비를 사용한다면, 장마철에는 매우 신경써서 장비를 운영해야 합니다.

챔버 관리와 함께 박막 증착에 사용되는 소스(물질)의 관리도 주의 해야 합니다.

대기에 방치하는 경우에는 표면에 물이 흡착되어 있고, 이것은 박막 증착시에 문제를 발생시키는 주요 원인이 될 수 있습니다.

 

챔버 벤트를 하는 경우에는 대기 벤트를 하지 말고, 질소 벤트를 해주어야 합니다.

박막 증착 등에 사용하는 물질은 글러브 박스, 데시케이터 등 수분 관리가 되는 환경에 보관해 주어야 합니다.

챔버 베이킹이 가능한 경우 베이킹을 해주는 것이 좋습니다.

 

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챔버를 벤트 상태로 방치하지 않습니다. 특히 휴가철에 주의 해야 합니다.

 

결로 현상이 발생하지 않도록 실내 온도를 맞추어 줍니다. 이것도 역시 휴가철에 주의 해야 합니다.

이러한 결로 현상은 주로 냉각수를 사용하는 곳에서 발생하게 됩니다. 냉각수 온도가 주위 환경보다 낮으면 발생하게 되는데요. 전기적인 문제를 발생시킬 가능성이 있기 때문에 주의 해야 합니다.

그리고, 휴가철에는 에어컨등 공조는 끄고, 냉각수는 동작시켜 놓고 가면서, 발생하는 문제가 대부분입니다. 조금만 주의를 하면 될 문제인데, 잘 안되는 경우가 많지요.

 

장마철에는 챔버가 소위 물을 먹지 않게 관리하는 것이 매우 중요합니다.