스퍼터 타겟 본딩 인듐이 녹아서 흘러나오는 경우

스퍼터 세라믹 타겟을 사용하다가 보면, 본딩재료인 인듐이 녹아서 나오는 경우가 있다.

인듐이 녹아서 나온다는 것은 냉각에 문제가 있다는 것을 의미한다.

본딩 자체가 잘못되어서 나오는 경우도 있는데, 인듐을 너무 많이 넣은 경우 이런 문제가 발생 할 수 있다.

그러나, 보통의 업체에서 이러한 실수를 하는 경우는 드물다.

인듐이 녹아서 나오는 가장 주요한 원인은 스퍼터 건에 필요한 냉각수가 용량, 또는 온도가 충분하지 않은 경우가 대부분이다.

냉각수에 문제가 있으면, 낮은 녹는점을 갖고 있는 인듐은 버티지 못하고 녹아서 흘러 내리게 된다. 그러면서 건과의 절연이 깨지면서 문제가 생기게 된다.

냉각 용량이 충분한 경우에도 이러한 문제가 발생 할 수 있는데, 주로 세라믹 타겟에서 많이 발생 할 수 있다.

열전도가 좋지 않은 물질을 스퍼터링 하는 경우, 타겟 자체에 온도가 많이 올라가면서 경계면에서 녹아 흘러 내리는 경우가 있다.

또는 순간적인 파워가 너무 많이 들어가서 냉각 능력을 벗어나면서 발생하는 경우도 있다.

이러한 경우 냉각 온도를 낮추어서 해결이 가능할 수 도 있으나, 15도 이하의 온도로 냉각을 하는 경우, 칠러에 부하가 많이 걸려 문제가 발생하거나, 결로로 인한 문제가 발생 할 수도 있으니 주의 해야 한다.

냉각 용량이 충분한 상태에서 발생하는 문제라면, 타겟의 두께를 줄여보는 것이 하나의 방법이 될 수도 있다.

사용하는 파워와 공정 환경에 따라서 적절한 타겟의 두께 조절은 안정적인 공저을 하기 위한 최선의 방법중에 하나이다.