MKS 9xx 시리즈 진공게이지 통신으로 설정값 변경 명령어

MKS 진공게이지 사용하는 경우가 많이 있습니다.

 

          

 

 

컨트롤러가 있는 상황이라면 설정 값 변경에 큰 문제가 없지만, 통신형을 사용하는 경우에는 명령어를 알고 있어야 설정값 변경이 가능합니다.

 

 

기본 적인 명령어중 가장 많이 변경하는 것이 setpoint 값 변경입니다.

 

명령어는 @253PR1;FF를 전송해주게 되면 압력값을 확인 할 수 있습니다.

다음으로 @253EN1!ON;FF를 전송해 줍니다.

이명령어는 SP1 을 활성화 합니다.

 

다음으로 @253SP1!5.00E-2;FF 으로 setpoint 값을 설정해줍니다.

 

이렇게 하면 SP1의 값을 5.00E-2 값으로 변경하게 됩니다.

 

보통 SP1, SP2 이런 것들은 시스템의 인터락으로 사용되기 때문에 정상적인 장비의 동작을 위해서는 올바른 값을 설정해 주어야 합니다.

 

그리고, 대기압이 맞지 않는 경우에는 torr 단위 기준으로 @253ATM!7.60E+2;FF를 전송해 주면 됩니다.