요즘 귀금속, 특히 금이나 Pt, 팔라듐 같은 소스와 희귀 금속의 값이 천정지부로 솓구치고 있다.이런 증착 소스의 비용 증가는 박막을 증착하는 사용자에게 큰 부담으로 다가 오고 있다.그래서, 최근에는 소스의 소모량을 줄이고, 쉴드 커버등의 크리닝을 통한 회수양의 증가와 편이성을 고려하기도 한다.무엇보다도 한번에 채워 넣는 소스양과 비용에 부담을 많이 느끼기 때문에, 15cc이상의 이빔을 사용하는 경우에는 라이너의 내부크기를 조절해서 소스 충전양을 줄이기도 한다.가장 손쉽게 줄이는 방법은 내부의 소스 들어가는 부분을 줄이는 것이다.규격대로 축소한다면 다음의 표를 따르면 된다.하지만 물질에 따라서 스윕이 중요한 경우에는 특별히 깊이를 줄이고, 넓게 소스를 퍼지게끔 하기도 하고,스윕없이 포인트 스팟으로 증착을..

가스켓을 조이는 방법은 다음과 같다. CF 플랜지를 사용하는 챔버는 볼트에 고온 고착 방지 윤활유를 사용하는 것이 좋다. 200도 이상의 베이크아웃 환경에서는 은도금 볼트를 사용하는 것이 좋다. 보프라기 없는 장갑과 지문등의 자연물이 묻지 않도록 주의 한다. 플랜지 결합면과 엣지날을 채결 전에 반드시 확인 한다. 가스켓을 홈에 반듯하게 정렬하여 채결하고, 손가락으로 단단히 조인다. 십자형 패턴으로 한번에 하나씩 1/4~/1/2 바퀴를 규칙적으로 조인다. 어닐링된 가스켓이나 도금된 것은 1/16로 규칙적으로 조인다. 금속 대 금속이 맞다을 때까지 조인다. 사용하는 가스켓의 재료는 다음과 같은 것들이 있다. 구리 : 스테인리스강 CF 플렌지는 1/4의 경질의 무산소동 OFHC를 사용한다. 고진공 시스템에 일..

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 ＣＲＹ..

텔레마크 이빔 증착 과련 참고 자료.

STM-2 하나 더 비교 IMM-100

평판형 플라즈마 CVD로 생성 가능한 박막과 생성물의 예시