몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도 입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른속도로 증착이 진행 됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거..

이빔 증착을 하면서 가끔 발생하는 문제중에 하나가 spit 현상입니다. 보통 용접 불꽃이 튀어 올라가는 것처럼 보이는 경우가 많습니다. 특히, 니켈이나 PT 소스를 처음 녹일 때 많이 볼 수 있습니다. 이러한 spit 현상은 소스가 다공성 공극을 포함하거나 산소를 많이 포함하고 있는 경우 발생 할 수 있습니다. 소스가 가열되면서 소스에 붙어있거나 특정 공간에 포함되어 있던 가스들이 순간적으로 방출되는 것입니다. 이러한 현상이 있는 상태에서 박막을 제조하면, 제대로 된 박막을 얻을 수 없습니다. 이것을 방지하기 위해서는 sock 시간을 충분히 주고, 소스를 한 번에 녹이지 않아야 합니다. 그리고, 소스를 제조하면서 고온 고밀도의 방식으로 제조한 것을 사용하는 것이 하나의 방법입니다. 이빔 공정을 하기전에 ..

스퍼터 타겟을 본딩하는데 적당한 물질로는 인듐이 있다. 인듐은 정방정계결정구조를 갖고 있는 물질이다. 평면에서 쌍을 이루거나 미끄러질 수 있다. 이것은 인듐이 Z 또는 수평 방향으로 분리되지 않고 측면으로 이동 할 수 있는 특징이 있음을 의미한다. 이러한 물리적 특성은 두가지 서로 다른 물질을 부착 시켰을 때, 개별 팽창 계수를 기준으로 부착면에서 서로 다른 팽창 및 수축을 할 수 있다는 것을 의미하기도 한다. 이러한 특징은 재료에 높은 응력이나 변형을 유발하지 않기 때문에 부착되어 있는 물질의 파손, 균열, 변형을 방지 할 수 있는 것이다. 스퍼터의 구조상 백플레이트 냉각 면과 증착 타겟의 표면이 플라즈마의 에너지로 인해 스트레스 받는 것을 생각한다면, 이러한 인듐의 특성은 아주 유용한 것이다. 그리고..

스퍼터 시스템에서 ITO 박막 스퍼터링을 하는 중간에 아크가 발생하고, 플라즈마 유지가 안되는 경우가 있다. 아크는 주로 타겟 중앙 부분에 원형으로 회전하면서 발생하는 경우가 많이 관찰 된다. 일반 세라믹 스퍼터링에서는 처음 방전이 되고 나면, 공정 조건 변화가 없이 이런 현상이 발생하지 않는 것이 일반적이다. 그러나, ITO 박막 증착에서는 공정 환경에 변화가 없음에도 타겟 자체의 특성으로 이러한 문제가 발생 할 수 있다. ITO 박막은 보통 In2O3 90, SnO2 10 W% 정도의 함유량을 가지고 있다. 적절한 ITO 박막을 얻기 위해서는 플라즈마 방전에 사용되는 아르곤 가스와 타겟의 특성을 유지하기 위한 적절한 산소분압을 유지해 주어야 한다. 플라즈마 내의 산소 분압은 자유행정거리(mean fr..

서로 다른 방향으로 움직임을 보이면, 큰 폭의 변화가 일어날 가능성이 높다고 생각해도 될까? ----------------------------------------- 원유 흐름에 대해서 많은 생각을 했었는데, 정확하게 예상한 것은 하나도 없는 것 같다. 역시나 시장을 예상하는 능력따위는 없는 것이다. 그래도 생각은 해봐야 하지 않겠는가? 최근 다시 원유에 대해서 관심을 갖게 되었는데, 바닥 100일이라고 했던가? 이제 슬슬 어느 한방향으로 자리를 잡을 시기가 아닌가 생각한다. 최근 OPEC+의 회의 결과를 보면, 감산으로 방향은 잡은것 같다. 사우디와 러시아의 생각이 항상 충돌하는 양상인데, 사우디는 감산, 러시아와 기타 +들은 감산의지가 없고 오히려 증산을 추구하고 있다. 최대 3월까지는 전체적인 양..

이미 수차례 경고가 있었고, 어마어마한 괴리율에도 두려움없이 배팅을 했던 결과는 거래정지 상태이다. "배팅", 그래 이 말이 모든 것을 대변하고 있다. "배팅, 도박을 한 것이다." 도박판이 그러하듯, 일확천금의 꿈을 안고서 패배는 조금도 고려하지 않고 뛰어드는 불나방 중에 하나가 된것이다. 인생에 몇 번 없는 기회라는 허황된 생각을 하고, 나름 확신을 갖고 뛰어든 축구 경기처럼 말이다. 불현듯 독일 vs 한국 축구 경기의 결과에 모든 것을 걸었다가 날린 자들의 분노하는 모습이 떠올랐다. 지금은, 상장 폐지는 아닐거라는 자기 위안을 하던, 정신 승리를 하던 하고 있겠지만. 눈을 감고 상황을 보자. 그래 이건 상장 폐지로 갈 것이다. 피할 수 있는 시간이 잠깐이라도 주어진다면, 그 때 최대한 피해야 한다...