1. 색인 번호- CAS No. : Chemical Abstracts Service Registry Number. 미국화학회(American Chemical Society)에서 동질성을 가지는 물질 등에 부여한 고유번호- CAMEO Chemicals는 미국 해양기상청(NOAA) 및 환경보호청(EPA)에서 개발한 유해화학물질의 데이터베이스 시스템으로, 화학반응으로 인한 비상사태를 예방하고 대응하는 데 사용됩니다. 화학물질이 혼합될 경우 상호반응성에 의하여 발생할 수 있는 위험을 예측하는 도구를 제공하고 있습니다.- 화학물질 보관시 : 화학물질은 성상별로 구분하여 분리된 공간에 보관하여야 하며, 상호반응을 일으킬 수 있는 화학물질은 특성에 맞는 시약보관캐비닛을 이용하여 서로 분리된 공간에 보관해야 합니다. ..

반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다. 가장 중요한 것은 안전이겠지요. 자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다. 도움이 되었으면 좋겠습니다. 참고파일 1 참고파일 2 참고파일3 참고사이트 1 https://www.kgu.or.kr/dict/info5 한국가스연맹 한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내. kgu.or.kr 가스의 분류