평판형 플라즈마 CVD로 생성 가능한 박막과 생성물의 예시

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다. 최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다. 로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다. 오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다. 샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다. 이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다. 보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다. 그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다. 대기압이상으..

스퍼터 방식으로 증착된 구리 박막은 실제 반도체 공정에서 매우 중요한 부분을 차지한다. 스퍼터 방식은 대면적 제조 설비로서의 장점도 있다. 클러스터 챔버나 인라인 방식 등을 이용하여 한번에 쭉 공정을 이어나갈 수 있는 것이다. 이러한 스퍼터 방식의 구리 박막 제조에서 여러가지 문제가 발생 할 수 있지만, 가장 많이 발생하는 것중에 하나가 접착력이다. 접착력을 개선하기 위한 방법으로 여러가지가 적용되는데, 특히 프리 크리닝 방법과 공정 후 어닐링 적용은 효과가 좋은 편이다. 하지만 박막을 증착하면서 가장 중요한 것은 막자체의 접착력을 강화하는 방법이다. ******************************************* 구리 뿐만 아니라 알루미늄 박막에서도 마찬가지인데, 최대한 증착 속도를 빠르..

CVD, 화학기상증착 장비는 박막 제조 장비로서 많이 사용됩니다. 화학적 반응을 이용하다보니, 안전상 문제가 발생하는 경우도 많이 있습니다. 특히, 사용자의 부주의나 무관심, 무지로 인해 발생하는 문제가 대부분입니다. CVD 장비를 안전하게 사용하기 위해서는 기본적으로 발화, 독성, 분진 등에대한 대비를 해야 합니다. 사용하는 물질의 정보와 특성을 잘 알고 있어야 하며, 반응으로 인해 생성되는 물질에 대한 특성과 그것에 대한 정보를 반드시 숙지하고 있어야 합니다. 작업하는 사람은 방진 마스크, 배기 장치, 보안경 등의 안전 장비를 구비하고 작업을 해야 합니다. 가장 기본적인 것이지만, 생각만으로는 지켜지지 않습니다. 행동하고, 사용 할 수 있도록 준비가 되어 있어야 합니다. CVD 장비의 챔버를 개방하는..