1. 전체 공정 온도 범위안에서 충분한 기계적 강도를 가지고 있는가? 구조적 완전함 이외에도 가동되는 표면의 변형이 기능에 영향을 주지 않는지 확인해야 합니다. 진공상태에서 구동되는 부품은 압력의 차이로 인한 기계적 부하와 방향성, 그리고 이것을 보완하기 위한 그리즈등의 보조 물품의 사용에 제약이 있기 때문에 마찰 등이 크게 증가하게 됩니다. 2. 높은 기체의 기밀성을 가지고 있는가? 각 재료는 기본적으로 기체가 침투할 수 있습니다. 기체 침투성의 전체 공정을 침투라 부릅니다. 이것은 재료, 기체의 유형, 주변 조건 특히 온도에 따라 달라집니다. 침투성은 탄성 중합체 실을 사용하여 판단해야 합니다. 3. 낮은 내재 증기압과 높은 용융점, 비등점 등의 물성을 갖고 있는가? 너무 높은 내재 증기압은 최종 진..

요즘에 하도 게이지 수급이 어려워서, 재고 있는것 막 가져다 사용하니 계속 게이지 제어 방식이 바뀝니다. 나중에 어떻게 대처해야 할지... 이번 선택은 인피콘 PGE300 매뉴얼 참고

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다. 선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다. 전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다. 우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요. 그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다. 이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다. QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것? 그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다. 연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다. 가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다. 다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야..

비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

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진공 기술의 역사에서 빠질 수 없는 인물이 여럿 있지만, 그 이야기의 시작은 대부분 에반젤리스타 토리첼리부터 시작한다. 그는 1643년 피사에서 행한(통산 불리우는 토리첼리의 실험, 참고 문서 1.) 실험을 통해 진공의 존재를 증명해낸 것으로 진공 관련 역사에서 가장 큰 시작점을 찍은 인물이다(그의 친구 Viviani를 잊으면 안된다). 토리 첼리는 이실험에서 대기압이 접시에 압력을 가해 수은이 빠져나오지 않음을 밝혀냈으며, 며칠 동안 실험을 계속하여 대기압이 변함에 따라 수은 기둥의 높이도 변하는 것을 알아냈다. 관의 위쪽에 생기는 공간을 토리첼리의 진공이라고 부른다. 이런 토리첼리의 발견은 기압계의 시작이 되었으며, 압력의 단위로 사용되는 Torr 단위(참고문서 2.) 역시 토리첼리의 이름에서 따온 ..