http://www.m-m.co.kr/goods/view?no=3864 Art.-No. AGC-302 Series Single Channel Active Gauge Controller admin80575.firstmall.kr

요즘에 하도 게이지 수급이 어려워서, 재고 있는것 막 가져다 사용하니 계속 게이지 제어 방식이 바뀝니다. 나중에 어떻게 대처해야 할지... 이번 선택은 인피콘 PGE300 매뉴얼 참고

진공 영역은 크게 저진공, 고진공, 초고진공으로 분류 할 수 있다. 남아있는 물질의 양과 흐름에 따라서 분류하는 것인데, 저진공과 고진공 사이에 두가지 특성이 혼재되는 중진공을 넣기도 한다. 저진공은 대기압부터 E-3 Torr 영역을 의미하며, 고진공은 ~E-8 Torr 초고지공은 그이하로 구분한다. 주요 영역에 따라서 배기 하는 펌프를 구분 하기도 하는데, 제거하는 가스의 종류, 즉 남아있는 가스의 종류도 진공 영역에 따라서 생각해 볼 수 있다. 대기압은 습기를 머금고 있는 공기라고 생각하면 된다. 주요 제거 물질은 물과 공기의 대부분을 차지하고 있는 질소이다. 저진공 영역은 이 두가지를 중심으로 대부분 공기에 포함되어 있는 것들을 제거하는 영역이다. 이때의 흐름은 물의 흐름과 크게 다르지 않다. 보통..

https://products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/bpg402-s/ BPG402-Sx ATM~초고진공 게이지 - INFICON 디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 디지털 기능 read pressure, select unit products.inficon.com 인피콘 게이지 중에서 대기..

MKS 진공게이지 사용하는 경우가 많이 있습니다. 컨트롤러가 있는 상황이라면 설정 값 변경에 큰 문제가 없지만, 통신형을 사용하는 경우에는 명령어를 알고 있어야 설정값 변경이 가능합니다. 기본 적인 명령어중 가장 많이 변경하는 것이 setpoint 값 변경입니다. 명령어는 @253PR1;FF를 전송해주게 되면 압력값을 확인 할 수 있습니다. 다음으로 @253EN1!ON;FF를 전송해 줍니다. 이명령어는 SP1 을 활성화 합니다. 다음으로 @253SP1!5.00E-2;FF 으로 setpoint 값을 설정해줍니다. 이렇게 하면 SP1의 값을 5.00E-2 값으로 변경하게 됩니다. 보통 SP1, SP2 이런 것들은 시스템의 인터락으로 사용되기 때문에 정상적인 장비의 동작을 위해서는 올바른 값을 설정해 주어야 ..