이거 예전에 많이 썼는데, 매뉴얼이 안보이네요.

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 ＣＲＹ..

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..

모든 진공용 드라이 펌프가 동일하지는 않겠지만, 기본적으로 냉각수를 필요로 하는 펌프의 경우 경고 신호가 발생하게 되고, 일정 시간이 경과하게 되면, 알람을 발생 시키면서 동작이 정지 하게 된다. 경고 유지 시간은 메이커 별로 다르기 때문에, 정확한 동작 순서와 알람 발생 신호는 확인을 해보는 것이 좋다. 만약 냉각수에 문제가 생겨서 바로 정지하는 펌프라면, 안정성에 문제가 있을 수 있다. 공정 도중 냉각수 문제로 펌프가 가 바로 정지해 버리는 경우, 잔류 가스의 처리와 기타 다른 펌프류에 영향을 줄 수 있기 때문이다. 드라이 펌프 냉각수에 문제가 발생하여, 경고 신호가 시스템에 들어간다면, 시스템은 정해진 안전 시퀀시를 따라서 시스템을 정지 할 수 있게 구성해 주어야 한다. 특히 반도체 라인이나 디스플..

진공 영역은 크게 저진공, 고진공, 초고진공으로 분류 할 수 있다. 남아있는 물질의 양과 흐름에 따라서 분류하는 것인데, 저진공과 고진공 사이에 두가지 특성이 혼재되는 중진공을 넣기도 한다. 저진공은 대기압부터 E-3 Torr 영역을 의미하며, 고진공은 ~E-8 Torr 초고지공은 그이하로 구분한다. 주요 영역에 따라서 배기 하는 펌프를 구분 하기도 하는데, 제거하는 가스의 종류, 즉 남아있는 가스의 종류도 진공 영역에 따라서 생각해 볼 수 있다. 대기압은 습기를 머금고 있는 공기라고 생각하면 된다. 주요 제거 물질은 물과 공기의 대부분을 차지하고 있는 질소이다. 저진공 영역은 이 두가지를 중심으로 대부분 공기에 포함되어 있는 것들을 제거하는 영역이다. 이때의 흐름은 물의 흐름과 크게 다르지 않다. 보통..

반도체 공정뿐만 아니라 많은 산업 영역에서 청결도, 및 불순물의 관리는 매우 중요한 문제로 부각 되고 있습니다. 이런 청결 및 불순물을 해결하기 위한 환경으로 많이 사용되고 있는 것이 진공 분야입니다. 진공 환경에서의 공정은 그 활용범위가 광범위해지고 있으며, 진공환경을 만들기 위한 진공펌프의 사용도 많아지고 있습니다. 진공펌프로 많이 사용되는 것이 기계식 오일 펌프 입니다. 문제는 이런 기계식 오일 펌프는 잠재적으로 오일 역류현상이 발생 할 수 있다는 것 입니다. 오일이 없는 펌프를 사용하면, 간단히 해결 할 수 있는 문제이지만, 경제성 문제로 인한 교체의 어려움이 있을 수 있습니다. 그래서, 선택하는 것이 포어라인 트랩입니다. 포어라인 트랩을 사용하여 잠재적인 오일 역류 현상을 방지 할 수 있습니다...