레스커 참고자료 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ag2 Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com

금을 박막으로 올리면서, 가장 적합한 라이너는 몰리가 아닌가 생각된다. 텅스텐도 많이 사용하지만, 아무래도 spit 현상을 감소 시키기 위해서는 텅스텐 보다는 몰리가 적합하다. 그라파이트 라이너에 유리질 카본을 코팅한 것도 상당히 좋다. 다만, 금은 열전도율이 좋아서, 냉각이 잘되면 증착레이트 파워가 굉장히 많이 소진되는 경우가 있다. 300mA 이상의 파워로 공정이 진행되는 경우, 써멀 스트레스로 인해서 QCM 센서가 안정이 안되는 경우가 있다. 이런 경우에는 QCM을 Alloy로 사용하거나, 증착파워를 낮추는 방법을 시도해 볼 수 있다. 증착 파워를 낮추기 위해서는 냉각 효율을 낮추어야 하기 때문에 라이너를 공중에 띄우는 방법을 사용 하거나, 소스의 양을 조절하는 방법을 사용 할 수 있다. 소스의 양..

기본 규격. 라이너 가공시 참고

The optional crucible liners available from Temescal increase evaporation rates by reducing heat transfer between the evaporant and the water-cooled crucible. They also allow particulate-free pocket replenishment and eliminate the risk of cross-contamination when one material replaces another in a given pocket. Liners are available in the following materials: ------------------------------------..