텔레마크 이빔 증착 과련 참고 자료.

몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도 입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른속도로 증착이 진행 됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거..

이빔 증착을 하면서 가끔 발생하는 문제중에 하나가 spit 현상입니다. 보통 용접 불꽃이 튀어 올라가는 것처럼 보이는 경우가 많습니다. 특히, 니켈이나 PT 소스를 처음 녹일 때 많이 볼 수 있습니다. 이러한 spit 현상은 소스가 다공성 공극을 포함하거나 산소를 많이 포함하고 있는 경우 발생 할 수 있습니다. 소스가 가열되면서 소스에 붙어있거나 특정 공간에 포함되어 있던 가스들이 순간적으로 방출되는 것입니다. 이러한 현상이 있는 상태에서 박막을 제조하면, 제대로 된 박막을 얻을 수 없습니다. 이것을 방지하기 위해서는 sock 시간을 충분히 주고, 소스를 한 번에 녹이지 않아야 합니다. 그리고, 소스를 제조하면서 고온 고밀도의 방식으로 제조한 것을 사용하는 것이 하나의 방법입니다. 이빔 공정을 하기전에 ..

팔라듐을 이빔으로 증착하면서, 라이너에 문제가 발생하는 경우가 많습니다. 발생하는 문제는 알루미늄과 비슷한 증상을 보입니다. 문제 발생의 원인은 반응성에 있습니다. 알루미늄과 마찬가지로 라이너와 반응하면서 합금이 되고, 달라붙으면서 문제가 발생하게 됩니다. 가장 쉽게 관찰되는 현상은 라이너에 구멍이 생기거나, 깨지는 현상입니다. 그리고, 증착 속도의 변화와 증착 물성의 변화 등이 있을 수 있습니다. 팔라듐 역시 알루미늄처럼 사용하는 라이너와 반응을 하면서 문제가 발생하는 것입니다. 녹는점이 높아서 텅스텐을 많이 사용하는데, 별로 좋은 결과는 얻기 힘들다고 봅니다. 텅스텐, 몰리, 탄탈 등 난융금속과 반응을 하기 때문이지요. [난융금속, refractory metal] 녹는점이 철보다 높은 금속을 말합니다..