이온빔 소스를 사용하면서 가스 종류에 따라서 Reflector의 재질을 선택해야 한다. 산소나 리엑티브 가스를 사용하는 경우에는 그라파이트가 적합하지 않다.

참고 매뉴얼 주로 엑셀레이터 그리드에 재증착이나 에칭 등으로 발생한 파티클로 인해 쇼트가 발생하게 된다. 자주 청소를 해주어야 하는데, 분해 청소를 해주면 좋지만, 청소기로 자주 청소만 해주어도 라이프타임은 충분히 증가한다.

TROUBLESHOOTING 1. 파워서플라이. 이온 소스 시스템이 작동하지 않으면 파워서플라이, 이온 소스또는 기타 컴포넌트 결함이 있는지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 파워서플라이가 문제로 의심되는 경우 이온 소스는 일반적으로 작동 압력(operating pressure)까지 펌핑되는 진공 챔버 내에 있습니다. 문제 해결은 배큠챔버를 대기 (atmosphere)로 배출하여 수행할 수 있지만 작동 압력 (operating pressure)으로 다시 펌핑하는 데 상당한 시간이 소요됩니다. 가장 좋은 순서는 환기 없이 최소한 초기 문제 해결을 수행하는 것입니다. 이온 소스 내에서 반응성 가스가 사용되는 경우 anode에 절연 코팅이 생성될 수있습니다. 이 절연 코팅은 일반적으로 실행 중에는 문제가 되지 ..

커프만 이온빔 매뉴얼 입니다. 통신으로 제어해서 통신부분 매뉴얼 확인이 필요합니다.

An automatic controller is normally used for startup or shutdown of an endHall source. The sequence most often used is described below. Knowledge of this sequence should be useful in programming a controller, or troubleshooting when operating problems arise. The currents and voltages used are defined in Fig. VI-2. 1. Pumpdown. The vacuum chamber in which the gridless source is installed shoul be..

1. 구성 참고 사진 2. 캐소드 문제가 발생하기 전에 캐소드를 교체하는 것은 장비 유지 보수 측면에서 중요하다. 시간이 경과하면서 가열 전류가 감소하기 시작한다. 20%에서 30% 정도 가열전류가 감소 했다면, 교체를 해주어야 한다. 자주 교체를 해주어야 하는 상황이라면, 물론 사용빈도에 따라서 다르겠지만, 가스라인을 점검해 보는 것이 좋다. 가스 순도와 라인의 상태는 캐소드의 라이프타임에 가장 영향을 많이 주는 것이다. 그리고, 공정이 끝난 후 15분이상 가스를 흘려주면서 냉각을 시켜주는 것도 중요하다. 충분한 냉각없이 벤트를 하거나 산소에 노출을 시키게 되면, 변형 및 오염의 문제를 일으키게 된다. 3. 키퍼 키퍼는 캐소드보다 라이프 타임이 긴 편에 속한다. 보통 가운데 있는 구멍의 크기가 커지면서..