가스 라인을 추가 하려면, 해당 가스 번호에 최대 값을 설정해 주어야 정상 동작 한다.파워를 끄고, 켜면서 프로그램과 어콰이어 버튼을 동시에 누르고 있어야 설정에 들어 갈 수 있다.

이온빔 소스를 사용하면서 가스 종류에 따라서 Reflector의 재질을 선택해야 한다. 산소나 리엑티브 가스를 사용하는 경우에는 그라파이트가 적합하지 않다.

참고 매뉴얼 주로 엑셀레이터 그리드에 재증착이나 에칭 등으로 발생한 파티클로 인해 쇼트가 발생하게 된다. 자주 청소를 해주어야 하는데, 분해 청소를 해주면 좋지만, 청소기로 자주 청소만 해주어도 라이프타임은 충분히 증가한다.

TROUBLESHOOTING 1. 파워서플라이. 이온 소스 시스템이 작동하지 않으면 파워서플라이, 이온 소스또는 기타 컴포넌트 결함이 있는지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 파워서플라이가 문제로 의심되는 경우 이온 소스는 일반적으로 작동 압력(operating pressure)까지 펌핑되는 진공 챔버 내에 있습니다. 문제 해결은 배큠챔버를 대기 (atmosphere)로 배출하여 수행할 수 있지만 작동 압력 (operating pressure)으로 다시 펌핑하는 데 상당한 시간이 소요됩니다. 가장 좋은 순서는 환기 없이 최소한 초기 문제 해결을 수행하는 것입니다. 이온 소스 내에서 반응성 가스가 사용되는 경우 anode에 절연 코팅이 생성될 수있습니다. 이 절연 코팅은 일반적으로 실행 중에는 문제가 되지 ..

커프만 이온빔 매뉴얼 입니다. 통신으로 제어해서 통신부분 매뉴얼 확인이 필요합니다.

An automatic controller is normally used for startup or shutdown of an endHall source. The sequence most often used is described below. Knowledge of this sequence should be useful in programming a controller, or troubleshooting when operating problems arise. The currents and voltages used are defined in Fig. VI-2. 1. Pumpdown. The vacuum chamber in which the gridless source is installed shoul be..