1. 구성 참고 사진 2. 캐소드 문제가 발생하기 전에 캐소드를 교체하는 것은 장비 유지 보수 측면에서 중요하다. 시간이 경과하면서 가열 전류가 감소하기 시작한다. 20%에서 30% 정도 가열전류가 감소 했다면, 교체를 해주어야 한다. 자주 교체를 해주어야 하는 상황이라면, 물론 사용빈도에 따라서 다르겠지만, 가스라인을 점검해 보는 것이 좋다. 가스 순도와 라인의 상태는 캐소드의 라이프타임에 가장 영향을 많이 주는 것이다. 그리고, 공정이 끝난 후 15분이상 가스를 흘려주면서 냉각을 시켜주는 것도 중요하다. 충분한 냉각없이 벤트를 하거나 산소에 노출을 시키게 되면, 변형 및 오염의 문제를 일으키게 된다. 3. 키퍼 키퍼는 캐소드보다 라이프 타임이 긴 편에 속한다. 보통 가운데 있는 구멍의 크기가 커지면서..

이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다. 이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다. 작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다. 뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다. ------------------------------------------------- 서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다. 이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다. 이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다. ------------..