웨이퍼 감지용 센서로 사용 할 만 한 것

챔버 내부에 웨이퍼 감지용 센서가 필요해서 이것저것 사용해 보았는데, 이게 생각만큼 쉽지가 않더군요. 뭐 여러가지 방식과 아이디어가 존재하는 것 같습니다. 실제 해보지 않고, 참고해서 해보려니 더욱 어려운거 같습니다. 결국은 하나씩 해보고 안되는 것을 확인하는 과정이 있어야 하더군요. ------------------------------------ 반사형 감지 방식은 일단 꽝입니다. 챔버가 금속이고, 반사되는 물질과, 진공 챔버의 특성상 투과되면서 발생하는 굴절 등이 일정한 상태를 유지하기 힘듭니다. 이것저것 해결하려면 상당한 비용이 필요합니다. 결국 포기.... -------------------------------- 직접 확인 방식. 이것은 물리적인 접촉을 감지 하는 것인데, 구동부위에 설치하게 ..

2019.03.13