비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..

https://www.scienceall.com/94742/ 아무것도 없는 진공, 가득 찬 진공 | 과학문화포털 사이언스올 과학의 모든 것, 사이언스올! 과학학습, 과학체험, 과학문화 콘텐츠 제공 www.scienceall.com

텔레마크 이빔 증착 과련 참고 자료.

기체는 움직인다. 그러면 어떻게 움직이는가? 가스의 움직임을 해석하기 위한 인간의 노력은 기체의 운동 이론을 바탕으로 해석 되었다. 즉, 기체의 운동 이론은 기체의 움직임을 설명하기 위한 하나의 가설이다. 이 가설을 위해서 이상기체를 가정한다. 이상기체의 가정 1. 기체 분자는 질량은 존재하지만, 부피는 존재하지 않는다. 2. 기체 분자는 서로간에 힘을 주고 받지 않는다. 3. 기체 분자가 일으키는 모든 충돌은 완전 탄성 충돌이다. 4. 기체 분자들은 속력의 분포를 갖고, 무질서 하게 움직인다. 5. 기체 분자의 평균 분자 운동 에너지는 절대 온도에만 비례하며, 분자의 크기, 모양 및 종류에는 영향을 받지 않는다. 6. 순수한 기체는 많은 개수의 동일한 분자로 구성되어 있으며, 이 분자들은 자신의 크기보..

측정 단위 대기압 이하의 압력은 Torr (millimeters of mercury, mmHg), milliTorr (mTorr, micron, μ), inches of mercury (" Hg), millibar (mbar), pascal (Pa) 등 다양한 단위를 사용하고 있다. 미국에서는 배기 펌프가 도달하는 압력 단위로 미크론, 고진공 및 UHV 펌프의 경우 Torr, 거친 진공 펌프의 경우 수은 인치의 세 가지 단위가 일반적으로 사용된다. 유럽에서는 밀리바가 일반적인 단위이다. 모든 압력 측정에 대해 일본은 파스칼 단위를 사용하지만 종종 2 차 단위로 Torr을 사용하기도 한다. 대부분의 과학 / 기술 논문 저자는 SI 단위 파스칼을 사용 권고 하고 있다. ​ 단위의 정의는 다음과 같다. 1. ..