울박 진공 게이지 선택 가이드 라인 참고https://showcase.ulvac.co.jp/en/how-to/selection-guide/vacuum-gauge-guide.html Vacuum gauge｜How to Choose The Best Products｜How to｜ULVAC SHOWCASEshowcase.ulvac.co.jp압력 범위에 따른 선택 가이드를 제시하고 있다.레스커의 게이지 선택 사이트 참고https://www.lesker.com/newweb/gauges/gauges_technicalnotes_1.cfm Kurt J. Lesker CompanyEnabling Technology for a Better Worldwww.lesker.com기계식 게이지(Mechanical Gauge)가스의..

http://www.m-m.co.kr/goods/view?no=3864 Art.-No. AGC-302 Series Single Channel Active Gauge Controller admin80575.firstmall.kr

요즘에 하도 게이지 수급이 어려워서, 재고 있는것 막 가져다 사용하니 계속 게이지 제어 방식이 바뀝니다. 나중에 어떻게 대처해야 할지... 이번 선택은 인피콘 PGE300 매뉴얼 참고

고진공 범위까지 사용하는 CVD 장비에 적절한 게이지를 사용하지 않으면, 계속 불량나고 망가지는 일이 발생합니다. 적합한 게이지를 선택하는 것은 매우 중요합니다. 1, 컨트롤러 MX200 Vacuum Controller 2. 저진공 게이지 4A Convection Gauge 3. 고진공 게이지 7FC Double Inverted Magnetron Cleanable Cold Cathode Sensor CVD 장비나 에칭 장비는 증착하면서 발생하는 파우더에 영향을 받기도 하고, 가스와 반응하기도 한다. 그리고, 챔버 크리닝 가스에도 오염되거나 문제가 발생할 가능성이 높다. 내구성이 있고, 오염에 강하면서 크리닝이 손쉬운 게이지를 선택하는 것이 중요하다.

https://products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/bpg402-s/ BPG402-Sx ATM~초고진공 게이지 - INFICON 디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 디지털 기능 read pressure, select unit products.inficon.com 인피콘 게이지 중에서 대기..

진공게이지 선택 가이드입니다. 게이지 선택 범위