백금의 일반적인 물질 특성과 응용 백금은 주기율표에 있는 9개의 귀금속 중 하나입니다. 녹는점은 1,772°C, 밀도는 21.4g/cc, 증기압은 1,747°C에서 10 -4 Torr입니다. 팔라듐과 매우 유사한 빛나는 은백색 금속입니다. 밀도가 높고, 가단성이 있고, 연성이며, 공기 중에서 부식에 강합니다. 가장 눈에 띄는 상업적 응용 분야는 차량의 촉매 변환기입니다. 백금은 반도체, 연료전지, 배터리 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다.기상증착시스템에서, 보트는 텅스텐을 기본으로 사용하고, 이빔라이너는 그라파이터 라이너로 시작합니다.타 금속과 합금에 주의해야 하고, 부드럽고 접촉력이 좋지 않아서 박막으로 만들기에 쉽지는 않습니다.써멀증착...백금의 써멀 증착은 매우 어렵습니다. 백금을 증발시키는 데..

몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한 한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제 되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 물질별 평형 증기압 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른 속도로 증착이 진행됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘됩니다. 라이너는 그라파이트..

텅스텐은 밀도가 높은 원소 중 하나입니다. 밀도는 19.3g/cc, 녹는점은 3,410°C, 증기압은 2,757°C에서 10 -4 Torr입니다. 외관상 광택이 있고 회백색입니다. 모든 금속 중에서 녹는점이 가장 높은 것으로 알려져 있으며, 특유의 경도로 인해 순수한 형태로 기계를 가공하거나 단조하는 것이 매우 어렵습니다. 텅스텐은 일반적으로 전기 필라멘트를 만드는 데 사용됩니다. 텅스텐 카바이드는 드릴, 톱, 보석류에서 발견됩니다. 텅스텐은 반도체, 연료전지, 센서 생산을 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 텅스텐 박막은 써멀로는 증착이 불가능 하며, 일반적으로 이빔이나 스퍼터 방식을 사용합니다. 이빔도 일반적인 방법으로는 증착이 어려울 수 있습니다. 라이너를 사용하지 않고 사용하는 것이 좋지만, 덩어리로..

고품질의 초전도 양자 증폭기 제작을 위해서는 많은 양의 조셉슨 접합이 필요하다. 신뢰성 있는 고품질의 조셉슨 접합을 위해서는 진공도가 5.0E-8 Torr 이하의 상태가 되어야 하며, 대면적의 증착과 산화가 가능해야 한다. 초전도양자간섭소자와 파라메트릭 증폭기는 전략물자로 수출입의 통제를 받는 소자이다. 반드시 자력개발을 해야 하는 소자이다. 고품질의 초전도 조셉슨 접합 제작을 위해서는 고진공 챔버를 이용한 불순물 제거와, 기판의 냉각을 통한 감광제의 열손상을 최소화 해야 한다. 그리고, 증착시 발생하는 전자 충격도 역시 최소화 해야 한다. 이온 식각을 통한 알루미늄 산화막의 제거 또한 매우 중요한 이유이다.

보통의 PVD 시스템은 가스라인 펌핑을 구성하지 않는다. 그러나, 산소를 이용한 리엑티브 공정을 하는 경우에는 가스라인의 배기를 구성 하는 것이 유리하다. 가스 라인에 차있는 산소의 불규칙한 양은 공정의 재현성에 영향을 줄 수 있기 때문이다.

웨이퍼의 대구경화, 가공의 미세화가 진행되는 것에 따라, 각 프로세스에 있어서의 웨이퍼위의 가공 균일성은 매우 중요한 요소가 되어 있습니다.특히 플라스마를 이용한 프로세스에 대해서는, 균일성을 높이기 위해서 웨이퍼 이면의 온도 제어를 실시할 필요가 있습니다. GR-300 Series는, 그 온도 제어에 불가결한 헬륨 가스나 아르곤 가스등의 전열성 가스의 압력 제어를 행하기 위한 기기로서 주목 받고 있습니다. GR-300 Series는, 폐사 Mass Flow Controller에 채용되고 있는 고속·고분해 Piezo Valve 와 Mass Flow Sensor를 탑재하고 있어, 정확·안정적으로 미세한 차압 제어를 실시할 뿐만 아니라, 유량계측기능도 가지고 있습니다.또 그 용도로서 트랜스퍼 chamber내..