RF파워를 사용하면서 플라즈마를 방전시키는 시스템의 경우 노이즈 발생은 꽤나 자주 심각하게 발생하는 문제 중에 하나이다.이부분에서 생각해 보아야 하는 것이 유전율이다. 유전율과 차폐율은 밀접한 관계가 있다. 보통 RF가 샌다고 많이 이야기 하는데, 전자기파는 전기장과 자기장으로 이루어진 전자기적 파동이기 때문에, 이 파동은 자유롭게 전파 될 수 있다. 이것이 다른 디바이스에 영향을 주면서, 전기적, 자기적으로 오동작 하게 하는 것이 노이즈라고 표현 하는 것이다.이런 노이즈성 전기적 자기적 전파를 차단 하는 것을 차폐라하며, 일부 물질을 사용하여 이러한 효과를 낼 수 있다. 전자기파의 차폐는 전자기파를 차단하는 물리적 특성과 관련 되어있다. 이 특성을 나타내는 것이 바로 유전율이다.유전율은 물질내에서 전자..

반응성 이온 에칭(RIE) 플라즈마 공정에서 DC self bias 전압은 중요한 제어 변수입니다. 특정 애플리케이션에 따라 프로세스 엔지니어는 원하는 효과를 얻기위해 이 매개변수를 참고하여 조건을 조작할 수 있습니다. 일반적으로 DC self bias가 높을수록 이온 에칭의 속도가 높아집니다. RF 전기장이 진공 챔버에 가해지면 전자는 전기장에 의해 앞뒤로 움직이면서 RF 주기의 절반마다 교대로 전원이 공급되는 전극에 충돌 하게 됩니다. 일반적으로 매칭 네트워크에서 사용할 수 있는 차단 커패시터는 RF AC 필드에 대한 도체 역할을 하지만 자체 유도 DC 필드에 대한 절연체 역할도 합니다. 전원이 공급된 전극에 전자가 충돌하면 AC 필드 외에도 음의 DC 필드가 형성될 수 있습니다. 이 음전위가 DC ..

코발트는 세계에서 가장 널리 알려진 금속 중 하나입니다. 밀도는 8.9g/cc, 녹는점은 1,495°C, 증기압은 1,200°C에서 10 -4 Torr입니다. 광택이 나는 단단한 금속으로 외관은 회색이며 강자성을 띠는 것이 특징입니다. 가장 널리 사용되는 용도 중 하나는 페인트, 보석, 유리에서 발견되는 파란색 안료입니다. 엔진 부품이나 절삭 공구를 만들기 위해 다른 금속과 합금되는 경우가 많습니다. 두 가지 주요 진공 응용 분야는 자기 저장 매체 생산의 강자성 층과 배터리 제조의 전환 층입니다. 코발트 기상증착을 할 때는 텅스텐, 탄탈, 몰리와 합금이 되기 때문에, 일반 써멀 증착기로는 문제가 발생하게 됩니다. 써멀로 증착 할때는 알루니마 코팅이 되있는 보트를 사용하는 것이 좋습니다. 다만, 보트의 수..

이트륨 산화물은 Y 2 O 3 의 화학식을 갖는 화합물입니다 . 흰색을 띠며 융점은 2,410°C, 밀도는 5.01g/cc, 증기압은 ~2,000°C 에서 10 -4 Torr입니다. 가장 중요한 이트륨 화합물로 간주됩니다. 이트륨 산화물은 텔레비전에서 빨간색을 제공하는 형광체를 만드는 데 사용되며 이트륨 철 가넷은 마이크로파 필터의 중요한 요소입니다. 반도체 및 수동 부품 제조를 위해 진공 상태에서 증발됩니다. 스퍼터 방식으로 증착이 가능하며, 리엑티브 스퍼터링으로 증착을 하기도 합니다. 최대 전력 밀도는 인치당 20W 정도입니다. 써멀 증착은 이론적으로 어렵습니다. 써멀을 사용하기 위해서는 두꺼운 텅스텐 보트를 사용하는 것이 유리합니다. 산소의 분압이 어느 정도 있어야 제대로 된 박막을 얻을 수 있습니..

스퍼터율 증가 RF 전력을 사용하여 유전체 타겟을 스퍼터링할 때 기판의 최대 증착 속도가 0.1Å/초 미만이 될 가능성이 높습니다. 즉, 100nm 두께의 필름을 증착하는 데 2.5시간 이상이 소요될 수 있습니다. 따라서 "스퍼터링 속도를 어떻게 높일 수 있습니까?"라는 질문을 자주 받는 것은 놀라운 일이 아닙니다. 사실 질문자가 원하는 것은 증착률을 높이는 것이지만, 좌절한 연구자와 의미론적으로 논쟁을 벌일 생각은 없습니다. (그러나 잠시 의미를 설명하자면, 스퍼터링 수율 등보다는 스퍼터 수율 , 스퍼터율 , 스퍼터 건 과 같이 스퍼터를 형용사 형태로 사용하겠습니다 .) 이번 호에서는 증착 속도를 높이는 방법을 검토하고 하나의 매개변수를 최대화하면 실수로 다른 매개변수에 영향을 미치는 조건을 살펴봅니다..

1. PH3 특징 1) 공기중에 노출 (1%이상) 되면 불이 붙을 수 있는 가연성 가스 입니다. 안전하게 처리 하기 위해서는 P2O5로 산화시켜서 배기시켜야 합니다. 2. 처리방법 1) 건식(상온) 스크러버로 흡착제를 이용하여 산화시켜 처리하는 방식이 가능합니다. 다만 가장 좋은 방법은 태워서 처리 하는 방식입니다. 2) 건식 흡착제로 하얀색 가루(P2O5)들이 농축되고, 드라이 펌프 N2 Purge로 계속 뽑으면서 농도 낮춰서 배기할 시 크게 문제 되지는 않습니다. 3) 다만, 포스핀을 고농도로 뽑으면 반응열이 높아서 Ar이나 N2로 희석시켜서 농도를 낮게 해서(예를 들어 포스핀 1sccm이면 N2 100sccm) 계속 불어넣어서 1% 미만 희석시켜 스크루버로 가서 처리하는 것이 권장됩니다. 너무 N2..