크라이오 펌프는 냉각 응축(cryocondensation)과 냉각 흡착(cryosorption)을 이용하여 챔버를 진공으로 만드는 펌프이다. 크라이오 펌프는 크게 2게의 스테이지로 구성되는데, 보통 1단의 온도가 100K이하, 2단의 온도가 10K 이하로 내려가면서 대부분의 가스를 냉각응축하여 포집하게 된다. 다만, 2단의 온도가 10K이하인 영역에서도 질량이 작은 수소, 헬륨, 네온 등의 타입3 가스들은 증기압이 높아서 극한의 온도에서도 응축을 이용하여 진공을 만드는 것에는 한계가 있다. 따라서 이러한 부류의 가스들은 다공정 물질(charcoal이라 불리는 활성탄)을 이용하여 냉각 흡착하는 방식으로 가스를 포집 진공상태를 만들게 된다. 냉각흡착은 보통 2단 어레이에 구성되며, 구성 물질인 활성탄은 스폰..

간만에 또 꿈을 꾸었습니다. 어제 꿈은 벽이 무너져 내리고, 그곳에 개미집이 있더군요. 어떻게 하나, 답답한 마음으로 있다가 시계 소리에 깨서 꿈인걸 알고는 얼마나 다행인지 몰랐습니다. 혹시 재물운이 있는 좋은 꿈일지도 모른다는 생각에, 어제 추첨한 로또를 보니... 번호가 단 한개도 없습니다. '꽝' 재물운은 아닙니다. 이것이 좋은 꿈인지, 나쁜 꿈인지는 시간이 지나 봐야겠지요. 다만, 하루를 조심조심 할 필요는 있습니다. ------------------------------------------------------------- 주말에 출근 해서 산처럼 쌓였던 일이 아주 수월하게 풀리더군요. 혼자 조용히 일한 덕분이기도 하지만, 주말에 한 번 바짝 일하고 심리적 압박감이 많이 줄었습니다. 꿈보다 해..

이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.

RIE 에칭 공정에서 조건에 따른 기본적인 경향성은 다음과 같습니다. 1. self-bias 파워를 확인 합니다. 2. 공정 압력이 줄어 들면서 바이어스 전압이 상승합니다. 3. 공정 유량이 증가하면서 동일한 압력에서 바이어스 전압은 감소 합니다. 4. 파워가 증가하면서 바이어스 전압이 상승합니다.

1000V 이상의 고전압파워를이용해서 디바이스의 전류값을 측정하기 위해서는 기본적으로 직렬로 회로가 구성되어야 합니다. 그리고, 이렇게 구성되어 있는 회로에서 접지 상태와 구성에 따라서 측정값의 오차 및 노이즈 발생등이 달라질 수 있습니다. 정확한 전류값의 측정을 위해서는 노이즈 성분을 제거 해야 하며, 접지 상태가 매우 중요한 영향을 미치게 됩니다. 그리고, 플로팅 그라운드 기능이 있는 전원 공급 장치를 사용하는 것이 좋습니다. 보통은 플로팅 그라운드가 아닌 샷시 그라운드로 많이 사용하지만, 이러한 구성은 미세 전류의 측정이 어렵고, 노이즈에도 많이 취약한 경향이 있습니다. 측정하려는 전류가 미세전류라면 더욱더 플로팅 그라운드 기능이 있는 파워 서플라이를 사용해야 합니다. 그라운드를 연결할 때도, 넓은..

요즘은 몸이 힘들어서 그런지 꿈도 잘 안꿉니다. 간만에 꿈을 꾸었는데, 전 직장 상사를 만나서 무언가를 계약하고 있더군요. 회사 이사도 옆에 앉아 있고. 때려치고 싶은 욕망이 꿈으로 발현 된 것이 아닌가 생각됩니다. 그런데, 출근을 했더니 아침부터 회의 한다고 모여 앉아서 하는예기가 주말 특근에 크리스마스까지 출근 해야 할거 같다고 합니다. 이사 면상을 까고 싶은 충동이 순간 일더군요. 그래도 어쩝니까. 참아야지요. 이 꿈은 좋은 꿈은 아닌거 같습니다.