STM-2 하나 더 비교 IMM-100

이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다. 이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다. 그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다. 일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다. 알루미늄이 대표적인 물질입니다. 알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다. 열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다. 알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.

구리는 박막 증착에서 많이 사용되는 물질 입니다. 녹는점은 1083도씨, 밀도는 8.92g/cc, 증기압은 1017도씨에서 10E-4Torr 입니다. 일반적으로 구리의 경우 접촉력이 좋지 않기 때문에, 크롬이나 타이같은 중간층이 필요합니다. 참고자료 써멀 증착을 할 때는 텅스텐이나 몰리브덴 보트를 사용합니다. 증착 소스가 많이 필요한 경우에는 알루미나 도가니와 함께 차폐형 탄탈 도가니 히터를 사용하는 것입니다. 차폐형 히터를 사용하는 경우에는 설치에 유의해야 합니다. 뒤틀리게 되면, 전극이 끊어지게 됩니다. 그밖에도 알루미나 코팅 바스켓을 사용 할 수도 있습니다. 하지만, 알루미나 코팅 바스켓의 경우 몇번 사용하다가 보면, 깨지는 현상이 발생하게 됩니다. 이러한 현상을 최소한으로 줄이기 위해서는 천천히 ..

참고 사이트 주소 http://www.vacuumcoating.info/nodule-formation-on-magnetron-sputtering-targets Nodule Formation on Magnetron Sputtering Targets – Vacuum Coating .info – VCi Magnetron Sputtering is a technology of high importance due to a wide variety of applications in industries such as thin film photovoltaics, semiconductor, optics, decorative coating and wear and corrosion protection. It has been o..

이빔, 써멀 시스템에서 많이 사용하는 박막 두께 컨트롤러 그라운드 구성입니다. 접지상태가 좋지 않은 경우 증착 레이트 흔들림이 나타날 수 있습니다.

박막 증착에 많이 사용되는 것 중에하나가 이빔 증착기 입니다. 거의 모든 금속을 증착 할 수 있으며, 여러 가지 물질을 연속으로 증착이 가능한 장점이 있습니다. 할이야기는 많이 있지만, 오늘은 그중에서 텔레마크(Telemark)사의 246건 냉각수 연결 방향과 그 중요함에 대해서 적어볼까 합니다. 이빔 증착기를 사용하면서, 이빔에 문제가 발생하는 주요 원인은 냉각수로부터 시작합니다. 냉각이 제대로 안되면서, 자석에 문제가 발생하고, 그로인한 포커싱 문제로 인해 연쇄적인 문제가 발생하게 됩니다. 흐르는 냉각수의 양과 질도 중요하지만, 보통 발생하는 문제를 보면, 냉각수 방향을 잘못 연결해서 발새하는 문제가 꽤 많이 있습니다. 유지보수하면서 잘못연결하는 경우가 생각보다 많습니다. 방향에 대해 생각하지 않고,..