스퍼터 시스템으로 알루미늄 증착하면서, 박막이 변색되는 경우
스퍼터로 박막을 만들때, 일정한 두께 이상으로 증착을 하면 박막이 변색되는 경우가 있습니다. 보통 500nm이상 증착하면서 이런 현상이 많이 발생합니다. 처음 부터 이런 현상이 있는 것이 아니고, 사용하던 어느 시점부터 발생하는 경우도 있습니다. -------------------- 이런 현상의 주요 원인은 챔버의 아웃 개싱입니다. 증상이 나타나는 두께는 챔버의 한계 진공도와도 연관되어 있습니다. 한계 진공도가 좋은 챔버는 이런 현상이 나타나는 시점이 꽤 많은 두께까지 갑니다. 하지만, 한계 진공도가 좋지 않은 챔버는 100nm 이하에서도 이런것이 관찰되는 경우가 있습니다. 그러나, 100nm 이하에서는 변색의 정도가 검은색이거나, 무지개 색으로 나타나는 경우가 더 많습니다. 이런 경우는 아웃개싱 보다는..
2019.03.18