일반적으로 알려진 물질별 증착속도 참고 https://www.lesker.com/newweb/ped/rateuniformity.cfm Kurt J. Lesker Company Vacuum Science Is Our Business www.lesker.com 증착 속도를 높이기 위한 방법 1. 전력 증가: 각 재료는 재료 속성에 따라 최대 전력이 제한되지만 냉각 효율을 통해 가능한 가장 높은 전력 밀도에서 대상을 작동할 수 있습니다. 가장 먼저 해야 할 일은 볼트-온 스타일 또는 본드 타겟 구성을 활용하여 타겟 재료를 직접 냉각하는 것입니다. 이것은 전도성 페이스트 또는 에폭시의 도움에 더하여 열전도율을 최대화하고 목표 재료가 달성할 수 있는 최대 수준까지 전력 밀도를 증가시킬 수 있습니다. 2. 소스-기..

STM-2 하나 더 비교 IMM-100

스퍼터 세라믹 타겟을 사용하다가 보면, 본딩재료인 인듐이 녹아서 나오는 경우가 있다. 인듐이 녹아서 나온다는 것은 냉각에 문제가 있다는 것을 의미한다. 본딩 자체가 잘못되어서 나오는 경우도 있는데, 인듐을 너무 많이 넣은 경우 이런 문제가 발생 할 수 있다. 그러나, 보통의 업체에서 이러한 실수를 하는 경우는 드물다. 인듐이 녹아서 나오는 가장 주요한 원인은 스퍼터 건에 필요한 냉각수가 용량, 또는 온도가 충분하지 않은 경우가 대부분이다. 냉각수에 문제가 있으면, 낮은 녹는점을 갖고 있는 인듐은 버티지 못하고 녹아서 흘러 내리게 된다. 그러면서 건과의 절연이 깨지면서 문제가 생기게 된다. 냉각 용량이 충분한 경우에도 이러한 문제가 발생 할 수 있는데, 주로 세라믹 타겟에서 많이 발생 할 수 있다. 열전도..

1. Protocol Server 설치 2. LabVIEW 어플리케이션 설치 3. 디바이스 드라이버 설치 다운로드 참고 사이트 products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/stm-2-qcm-monitor/ STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 - INFICON STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 크기가 작고 저렴하지만 뛰어난 성능 STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단 products.inficon.com 통신 프로토콜

몰리브덴은 전이금속으로 녹는점은 2617도로 매우 높으며, 증기압은 10E-4 Torr 2117도입니다. 이빔으로 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거나, 라이너 없이 사용하면 크게 문제없이 가능하다. 가능한한 스윕을 넓게 해주는 것이 좋고, 8자 패턴을 사용하면 적당합니다. 몰리브덴 증착에서 가장 문제되는 것은 진공도 상승인데, 충분히 탈가스를 한 후 증착을 시도하는 것이 중요합니다. 평형 증기압은 10E-2 Torr 정도이고, 이때 온도는 2600도 입니다. 일반적으로 평형증기압이 10E-2 Torr 근처인 물질은 빠른속도로 증착이 진행 됩니다. 다만 높은 온도가 필요하기 때문에 써멀 방식으로는 증착이 어렵습니다. 이빔으로는 증착이 잘 됩니다. 라이너는 그라파이트 라이너를 사용하거..

참고 동영상 https://www.jove.com/video/55084/-?&language=Korean Influence of Hybrid Perovskite Fabrication Methods on Film Formation, Electronic Structure, and Solar Cell Performance | Protoco 우리는 결정 구조, 상태, 에너지 수준의 밀도 및 궁극적으로 태양 전지의 성능을 비교하는 무기 / 유기 박막이 페 로브 스카이 트 (perovskite)의 다른 제조 방법의 효과에 대한 광범위한 연구 결과를 제시한다.... www.jove.com 1. 2. 3.