참고 사이트 주소 http://www.vacuumcoating.info/nodule-formation-on-magnetron-sputtering-targets Nodule Formation on Magnetron Sputtering Targets – Vacuum Coating .info – VCi Magnetron Sputtering is a technology of high importance due to a wide variety of applications in industries such as thin film photovoltaics, semiconductor, optics, decorative coating and wear and corrosion protection. It has been o..

이빔으로 니켈이나 백금 박막을 두껍게 올리면 챔버 벽면에 붙은 박막이 떨어지면서 분진이발생하거나, 박막이 들뜨는 곳에서 박막 필름이 날리는 현상이 발생 하는 경우가 있다. 심한 경우에는 실처럼 성장하는 경우도 있다. ---------------------------------- 이런 것을 막기 위해서는 챔버 벽면이 박막이 성장하는 부분을 샌딩처리해서 접촉을 좋게 해주는 것이 좋다. 히팅을 해주는 것도 하나의 방법이 될 수 있으나, 상당히 높은 고온을 필요로 하므로 그렇게 좋은 방법은 아니다. 여러 물질을 증착하는 경우에는 이런 현상이 비교적 감소 할 수 있으나, 니켈이나 백금 같은 단일 박막을 사용하는 챔버라면 필히 샌딩 처리를 해야 한다.

이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다. 이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다. 작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다. 뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다. ------------------------------------------------- 서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다. 이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다. 이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다. ------------..