가스켓을 조이는 방법은 다음과 같다. CF 플랜지를 사용하는 챔버는 볼트에 고온 고착 방지 윤활유를 사용하는 것이 좋다. 200도 이상의 베이크아웃 환경에서는 은도금 볼트를 사용하는 것이 좋다. 보프라기 없는 장갑과 지문등의 자연물이 묻지 않도록 주의 한다. 플랜지 결합면과 엣지날을 채결 전에 반드시 확인 한다. 가스켓을 홈에 반듯하게 정렬하여 채결하고, 손가락으로 단단히 조인다. 십자형 패턴으로 한번에 하나씩 1/4~/1/2 바퀴를 규칙적으로 조인다. 어닐링된 가스켓이나 도금된 것은 1/16로 규칙적으로 조인다. 금속 대 금속이 맞다을 때까지 조인다. 사용하는 가스켓의 재료는 다음과 같은 것들이 있다. 구리 : 스테인리스강 CF 플렌지는 1/4의 경질의 무산소동 OFHC를 사용한다. 고진공 시스템에 일..

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다. 최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다. 로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다. 오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다. 샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다. 이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다. 보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다. 그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다. 대기압이상으..

물, 진공 장비와는 밀접한 관계가 있는 물질 입니다. 챔버를 이용하여 진공을 만든다는 것은, 결국 물을 배기 하는 과정이라해도 과언이 아닙니다. 장마철에는 이런 물의 관리가 매우 중요합니다. 정확하게는 습도관리라고 해주어야 겠지요. 크린룸이 구성되어 있는 환경이라면, 습도 관리가 되기때문에 크게 문제되지는 않을 것입니다. 다만, 크린룸을 구성하는 설비가 고장나는 일이 많습니다. 크린룸이 공조에 문제가 생겨서 습도 관리가 안되는 상황이라면, 챔버 벤트는 절대하면 안되겠지요. 크린룸 운영시, 공조시설에 문제가 발생했다면, 챔버 개방을 절대 하면 안됩니다. ---------------------------------------------------------------- 크린룸이 없는 실험실, 연구 시설에서 ..