이빔으로 니켈 증착을 많이 합니다. 이때 처음 시작은 그라파이트로 하는 것이 좋습니다. 정상적인 상태라면, 그라파이트 라이너로도 문제없이 증착이 가능합니다. 다만 그라파이트로 증착을 하면서 라이너가 달궈지는 현상이 보인다면, 라이너가 포켓에 맞지 않는 상태입니다. 이런 경우에는 니켈과 그라파이트가 늘어 붙으면서, 깨지게 됩니다. --------------------------------------------------- 라이너가 달궈지는 현상이 없고, 니켈이 라이너에 늘어붙는 현상이 없다면, 구리 라이너로 바꾸어서 사용하면 됩니다. 냉각도 좋고, 열이좀 발생한다고 해도, 늘어붙거나 하는 문제는 없습니다. 구리 라이너로 증착을 한 후 니켈 소스가 라이너와 붙지 않는다면, 정상적인 상태로 보아도 문제 없습니다.

The optional crucible liners available from Temescal increase evaporation rates by reducing heat transfer between the evaporant and the water-cooled crucible. They also allow particulate-free pocket replenishment and eliminate the risk of cross-contamination when one material replaces another in a given pocket. Liners are available in the following materials: ------------------------------------..

이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다. 이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다. 작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다. 뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다. ------------------------------------------------- 서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다. 이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다. 이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다. ------------..

박막 증착에 많이 사용되는 것 중에하나가 이빔 증착기 입니다. 거의 모든 금속을 증착 할 수 있으며, 여러 가지 물질을 연속으로 증착이 가능한 장점이 있습니다. 할이야기는 많이 있지만, 오늘은 그중에서 텔레마크(Telemark)사의 246건 냉각수 연결 방향과 그 중요함에 대해서 적어볼까 합니다. 이빔 증착기를 사용하면서, 이빔에 문제가 발생하는 주요 원인은 냉각수로부터 시작합니다. 냉각이 제대로 안되면서, 자석에 문제가 발생하고, 그로인한 포커싱 문제로 인해 연쇄적인 문제가 발생하게 됩니다. 흐르는 냉각수의 양과 질도 중요하지만, 보통 발생하는 문제를 보면, 냉각수 방향을 잘못 연결해서 발새하는 문제가 꽤 많이 있습니다. 유지보수하면서 잘못연결하는 경우가 생각보다 많습니다. 방향에 대해 생각하지 않고,..

이빔으로 알루미늄을 증착하는 경우, 항상 발생하는 문제가 라이너의 깨짐, 넘침, 합금 등입니다. 결국 이것저것 해보다가 가장 좋은 방법은 라이너 없이 사용하는 것이라는 답을 얻게 됩니다. ------------------------------------------ 라이너 없이 알루미늄을 직접 히스에 넣고 사용하는 경우에는 다음 몇가지를 조심해야 합니다. 1. 냉각수 관리 2. 스윕의 범위 3. 소스의 양 4. 히스 및 셔터의 청결 상태 --------------------------------------------- 이정도만 주의 해주면, 크게 문제 없이 사용 할 수 있습니다.

팔라듐을 이빔으로 증착하면서, 라이너에 문제가 발생하는 경우가 많습니다. 발생하는 문제는 알루미늄과 비슷한 증상을 보입니다. 문제 발생의 원인은 반응성에 있습니다. 알루미늄과 마찬가지로 라이너와 반응하면서 합금이 되고, 달라붙으면서 문제가 발생하게 됩니다. 가장 쉽게 관찰되는 현상은 라이너에 구멍이 생기거나, 깨지는 현상입니다. 그리고, 증착 속도의 변화와 증착 물성의 변화 등이 있을 수 있습니다. 팔라듐 역시 알루미늄처럼 사용하는 라이너와 반응을 하면서 문제가 발생하는 것입니다. 녹는점이 높아서 텅스텐을 많이 사용하는데, 별로 좋은 결과는 얻기 힘들다고 봅니다. 텅스텐, 몰리, 탄탈 등 난융금속과 반응을 하기 때문이지요. [난융금속, refractory metal] 녹는점이 철보다 높은 금속을 말합니다..