Microstructure of PVD Condensates

PVD의 응축된 증착 물질은 단결정 기판의 특정 결정면에 에피텍셜 성장으로 증착 되거나, 다결정 형태로 증착이 된다. PVD의 일반적인 증착 변수는 다음과 같은 것들이 있다. 1) 기판의 성질 2) 증착하는 동안의 기판 온도 3) 증착 속도 4) 증착물의 두께 5) 증기의 입사각 6) 주변 기체의 압력과 성질, 종류 증착 물질은 하나의 단층 두께로 시작하여 연속적인 막으로 성장하지 않는다. 대신 기판의 어느 특정 조건에 맞는 위치에 3차원의 핵이 형성되고, 예를 들어 단결정 기판에서의 절단 단계; 이러한 핵은 측면 및 두께(cleavage steps, 소위 섬 성장 단계)에서 성장하고 궁극적으로 서로 충돌하여 연속적인 필름을 형성한다. 연속 필름이 형성되는 평균 두께는 증착 온도 및 증착 속도(둘 다 E..

2023.05.10