요즘 귀금속, 특히 금이나 Pt, 팔라듐 같은 소스와 희귀 금속의 값이 천정지부로 솓구치고 있다.이런 증착 소스의 비용 증가는 박막을 증착하는 사용자에게 큰 부담으로 다가 오고 있다.그래서, 최근에는 소스의 소모량을 줄이고, 쉴드 커버등의 크리닝을 통한 회수양의 증가와 편이성을 고려하기도 한다.무엇보다도 한번에 채워 넣는 소스양과 비용에 부담을 많이 느끼기 때문에, 15cc이상의 이빔을 사용하는 경우에는 라이너의 내부크기를 조절해서 소스 충전양을 줄이기도 한다.가장 손쉽게 줄이는 방법은 내부의 소스 들어가는 부분을 줄이는 것이다.규격대로 축소한다면 다음의 표를 따르면 된다.하지만 물질에 따라서 스윕이 중요한 경우에는 특별히 깊이를 줄이고, 넓게 소스를 퍼지게끔 하기도 하고,스윕없이 포인트 스팟으로 증착을..

반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다. 가장 중요한 것은 안전이겠지요. 자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다. 도움이 되었으면 좋겠습니다. 참고파일 1 참고파일 2 참고파일3 참고사이트 1 https://www.kgu.or.kr/dict/info5 한국가스연맹 한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내. kgu.or.kr 가스의 분류

비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다. 이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다. 그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다. 일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다. 알루미늄이 대표적인 물질입니다. 알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다. 열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다. 알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.

이빔 증착을 하면서 가끔 발생하는 문제중에 하나가 spit 현상입니다. 보통 용접 불꽃이 튀어 올라가는 것처럼 보이는 경우가 많습니다. 특히, 니켈이나 PT 소스를 처음 녹일 때 많이 볼 수 있습니다. 이러한 spit 현상은 소스가 다공성 공극을 포함하거나 산소를 많이 포함하고 있는 경우 발생 할 수 있습니다. 소스가 가열되면서 소스에 붙어있거나 특정 공간에 포함되어 있던 가스들이 순간적으로 방출되는 것입니다. 이러한 현상이 있는 상태에서 박막을 제조하면, 제대로 된 박막을 얻을 수 없습니다. 이것을 방지하기 위해서는 sock 시간을 충분히 주고, 소스를 한 번에 녹이지 않아야 합니다. 그리고, 소스를 제조하면서 고온 고밀도의 방식으로 제조한 것을 사용하는 것이 하나의 방법입니다. 이빔 공정을 하기전에 ..

참고 동영상 https://www.jove.com/video/55084/-?&language=Korean Influence of Hybrid Perovskite Fabrication Methods on Film Formation, Electronic Structure, and Solar Cell Performance | Protoco 우리는 결정 구조, 상태, 에너지 수준의 밀도 및 궁극적으로 태양 전지의 성능을 비교하는 무기 / 유기 박막이 페 로브 스카이 트 (perovskite)의 다른 제조 방법의 효과에 대한 광범위한 연구 결과를 제시한다.... www.jove.com 1. 2. 3.