박막을 제조하기 위한 많은 방법 중에서 비교적 간단하고, 쉬운 방법이 기상증착 방식입니다. 기상증착을 이용하기 위해서는 불순물을 제거하기 위해 진공시스템이 필요합니다. 진공시스템을 이용한 기상증착 장비는 보통 써멀과 이빔을 이야기 할 수 있습니다. 이 두가지 진공증착 시스템은 기본적으로 물질에 에너지와 힘을 가하여 물질을 녹이고, 가스 형태가 되어 증발되는 것을 이용하여 박막을 제조하는 것입니다. 장비의 구분은 가열 방식으로 구별 할 수 있는데, 써멀은 보트라는 히터를 가열하는 방식이고, 이빔은 전자총이라는 것을 이용하여 전자 충격을 가해 가열하는 방식입니다. 이 장비를 이용하여 혼합물과 화합물을 증착 하는 경우 고려해야 하는 몇가지를 적어 볼까 합니다. 1. 증착 속도를 높이기 위해서는 물질의 온도를 ..

반도체나 디스플레이 업종에서 알루미늄 박막은 활용도가 높습니다. 거의 필수 소재라고 할 수 있습니다. 최근 디스플레이에 활용되는 OLED에서도 알루미늄은 빠질 수 없는 소재입니다. 이런 알루미늄 박막은 흔히 말하는 PVD 써멀 증착기를 이용해서 만들어지게 됩니다. 진공 장치가 필요하고, 얇은 박막을 제조하다 보니 QCM 센서가 필요합니다. 그리고, 알루미늄을 녹이기 위한 보트, 즉 히터가 필요합니다. 개중에는 섭스트레이트 히팅을 필요로 하는 경우도 있으나, 알루미늄 박막은 히팅 보다는 오히려 냉각이 필요한 경우가 더 많습니다. 먼저 진공시스템에 대해서 살펴보면, 알루미늄 박막은 아주 높은 진공상태를 필요로 합니다. 그 이유는 알루미늄이 활성 금속이기 때문입니다. 반응을 잘 한다는 의미입니다. 특히 산소와..

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다. 최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다. 로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다. 오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다. 샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다. 이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다. 보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다. 그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다. 대기압이상으..

이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다. 이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다. 그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다. 일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다. 알루미늄이 대표적인 물질입니다. 알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다. 열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다. 알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.

스퍼터 세라믹 타겟을 사용하다가 보면, 본딩재료인 인듐이 녹아서 나오는 경우가 있다. 인듐이 녹아서 나온다는 것은 냉각에 문제가 있다는 것을 의미한다. 본딩 자체가 잘못되어서 나오는 경우도 있는데, 인듐을 너무 많이 넣은 경우 이런 문제가 발생 할 수 있다. 그러나, 보통의 업체에서 이러한 실수를 하는 경우는 드물다. 인듐이 녹아서 나오는 가장 주요한 원인은 스퍼터 건에 필요한 냉각수가 용량, 또는 온도가 충분하지 않은 경우가 대부분이다. 냉각수에 문제가 있으면, 낮은 녹는점을 갖고 있는 인듐은 버티지 못하고 녹아서 흘러 내리게 된다. 그러면서 건과의 절연이 깨지면서 문제가 생기게 된다. 냉각 용량이 충분한 경우에도 이러한 문제가 발생 할 수 있는데, 주로 세라믹 타겟에서 많이 발생 할 수 있다. 열전도..

1. Protocol Server 설치 2. LabVIEW 어플리케이션 설치 3. 디바이스 드라이버 설치 다운로드 참고 사이트 products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/stm-2-qcm-monitor/ STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 - INFICON STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 크기가 작고 저렴하지만 뛰어난 성능 STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단 products.inficon.com 통신 프로토콜