이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다. 이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다. 작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다. 뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다. ------------------------------------------------- 서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다. 이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다. 이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다. ------------..

팔라듐을 이빔으로 증착하면서, 라이너에 문제가 발생하는 경우가 많습니다. 발생하는 문제는 알루미늄과 비슷한 증상을 보입니다. 문제 발생의 원인은 반응성에 있습니다. 알루미늄과 마찬가지로 라이너와 반응하면서 합금이 되고, 달라붙으면서 문제가 발생하게 됩니다. 가장 쉽게 관찰되는 현상은 라이너에 구멍이 생기거나, 깨지는 현상입니다. 그리고, 증착 속도의 변화와 증착 물성의 변화 등이 있을 수 있습니다. 팔라듐 역시 알루미늄처럼 사용하는 라이너와 반응을 하면서 문제가 발생하는 것입니다. 녹는점이 높아서 텅스텐을 많이 사용하는데, 별로 좋은 결과는 얻기 힘들다고 봅니다. 텅스텐, 몰리, 탄탈 등 난융금속과 반응을 하기 때문이지요. [난융금속, refractory metal] 녹는점이 철보다 높은 금속을 말합니다..