반도체 및 디스플레이 신재생에너지, 핵융합 등 플라즈마의 이용 분야는 매우 광범위하고 최첨단 산업의 깊숙한 곳까지 기술이 이용되고 있다. 특히 미세공정이 주를 이루는 반도체, 디스플레이 등등의 산업에서는 플라즈마의 제어와 특성 파악이 제품의 품질에 많은 영향을 주기 때문에 플라즈마의 상태를 확인하는 것이 매우 중요하다. 예를 들면, 반도체 식각 공정에서 발생하는 전하의 축적 현상, closing, distortion, not-open, 표면 거칠기 심화 등등의 이슈와 웨이퍼 외곽쪽의 전기, 화학, 열적 불균형으로 인한 균일도 저하, 수율 저하 등의 문제를 생각해 볼 수 있다. 이것을 해결하기 위해서는 공정에 사용하는 플라즈마의 물성 이해와 그것을 통한 문제의 해결 방안을 모색하는 것이 필요하다. 플라즈마..

비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

공기통하고, 가벼운 녀석으로 찾아보았는데, 신어보니 역시 안전화에 너무 많은 기대를 한 것인가 싶기도 합니다. 무게는 좀 그런데, 공기 통하고, 조이기 편한게 그런면에서는 나쁘지 않습니다. https://coupa.ng/cbwLrQ 코오롱글로벌 F404 다이얼락 통풍조절 COUPANG www.coupang.com "이 포스팅은 쿠팡 파트너스 활동의 일환으로, 이에 따른 일정액의 수수료를 제공받습니다."

진공박막 장치에서는 다양한 열원이 발생하게 되는데, 크라이오 펌프의 경우 이렇게 발생하는 열원에서 자유로워야 성능을 제대로 발휘 할 수 있다. 보통 냉동 능력은 기종에 따라 다르겠지만, 통상 1단이 80K, 2단이 20K 정도이고, 챔버 내에서 발생하는 열원에 의해 크라이오 펌프의 냉동 능력이 떨어지게 된다. 특히 직접 열원에 노출되는 경우에는 냉동 능력을 넘어서는 문제가 발생하게 되고 펌프는 그 능력을 상실하게 된다. 그러므로 이러한 열원에서 차폐하고 격리할 필요가 있다. 참고 사이트 : 한국알박 https://m.blog.naver.com/ulvac_cryo/221503643085 [CRYO PUMP] 크라이오펌프에 대한 기초 지식 2 크라이오 펌프의 사용방법 1. 크라이오 펌프의 부착과 설치 ＣＲＹ..

크라이오 펌프는 저장성 펌프(흡착식으로 가스를 잡아두고 있는)이기 때문에 응축 및 흡착한 기체를 외부로 방출하고, 다시 배기 가능한 상태로 성능을 회복시키는 과정이 필요하다. 이러한 과정을 재생(regeneration)이라고 하며, 그 시기가 언제인가는 다음과 같은 것들로 판단한다. 1. 15K 판넬의 온도가 20K이상으로 올라가는 경우 또는 유지되는 경우. 2. 80K 쉴드의 온도가 130K이상으로 유지되는 경우. 3. 주벨브를 닫아 5분후 압력이 1.3E-4Pa 이하로 되지 않는 경우. 4. 배기 성능이 장치의 요구 성능에 부합되지 않는 경우. 참고: 크라이오 펌프의 배기 용량 측정은 크게 응축성기체(Ar)와 비응축성 기체(H2)로 측정한다. 응축성 기체는 배기 불가까지 측정하고, 비응축성 기체는 초..

일반적으로 알려진 물질별 증착속도 참고 https://www.lesker.com/newweb/ped/rateuniformity.cfm Kurt J. Lesker Company Vacuum Science Is Our Business www.lesker.com 증착 속도를 높이기 위한 방법 1. 전력 증가: 각 재료는 재료 속성에 따라 최대 전력이 제한되지만 냉각 효율을 통해 가능한 가장 높은 전력 밀도에서 대상을 작동할 수 있습니다. 가장 먼저 해야 할 일은 볼트-온 스타일 또는 본드 타겟 구성을 활용하여 타겟 재료를 직접 냉각하는 것입니다. 이것은 전도성 페이스트 또는 에폭시의 도움에 더하여 열전도율을 최대화하고 목표 재료가 달성할 수 있는 최대 수준까지 전력 밀도를 증가시킬 수 있습니다. 2. 소스-기..