플라즈마 증착기에서 전극 부분에 결로 현상으로 인한 문제가 발생 할 수 있다. 특히 스퍼터 건의 파워 전달부는 결로 현상으로 인해 발생하는 문제를 찾기가 어렵다. 플라즈마 방전은 되지만, 증착 효율이 급격하게 떨어지기 때문에, 그 원인을 바로 짐작하기 어렵다. 공정 환경의 변화가 없다면, 결로 현상으로인한 파워 전달의 감소를 의심해 보아야 한다. 특히 RF 파워를 사용하는 경우 매칭점이 틀어지면서 해결 안되는 경우가 많다. 결로 현상으로 인한 문제가 의심된다면, 전극 부분을 교체 해야 한다.

스퍼터 타겟은 금속, 유전체, 투명전도체 및 AR 코팅등 다양한 분야의 박막제조에 활용되고 있다. 스퍼터 박막 활용에 존재하는 수많은 문제중에 하나가 타겟 표면에서 발생하는 결절, 분진 가루등이 생성되는 것이다. 간단하게 미립자 오염물 형성에의한 문제라고 볼 수 있다. 이러한 문제는 박막의 질에 결정적인 문제를 발생시키므로, 매우 중요한 이슈가 된다. 우선 샘플 측면에서 보면, 타겟이 위에 위치한 경우 샘플에 떨어지면서 제품 자체의 결함을 유발 하게 된다. 그런면에서 타겟은 아래에 위치하는 것이 좋다. 다만, 이런 경우 샘플의 이송 및 탈장착이 복잡해질 가능성이 많다. 그만큼, 생산 설비의 비용이 증가한다는 의미이다. 공정 면에서 보면, 오염 미립자의 형성 원인은 다음과 같이 생각해 볼 수 있다. 1. ..

기본 규격. 라이너 가공시 참고

MKS 649B https://www.mksinst.com/f/649b-integrated-pressure-controller 649 Downstream Integrated Pressure Controllers Products Configuration Options The following options are available for 649B Pressure Controllers with Integral Baratron® Manometer and Mass Flow Meter Ordering Code Example: 649B00413T12C2VR Configuration Option Option Code 649B Pressure Controller with www.mksinst.com 에칭이나 cvd 장..

써멀 증착기로 Ti 증착이 잘 안되고, 파워가 많이 들어가는 경우 표면에 옥시데이션 막을 제거해 주어야 한다. BOE에 담궈서 제거해주고, 잘 말려서 증착하면 된다. 텅스텐 보트와 합금이 되면서 보트를 자주 교체해 주면서 사용하는 것이 좋다.

전부 안가는 것도 아니고, 특정 메일이 이상하게 안가고, 553 어쩌고 뜨는 경우 해결 방법