금을 박막으로 올리면서, 가장 적합한 라이너는 몰리가 아닌가 생각된다. 텅스텐도 많이 사용하지만, 아무래도 spit 현상을 감소 시키기 위해서는 텅스텐 보다는 몰리가 적합하다. 그라파이트 라이너에 유리질 카본을 코팅한 것도 상당히 좋다. 다만, 금은 열전도율이 좋아서, 냉각이 잘되면 증착레이트 파워가 굉장히 많이 소진되는 경우가 있다. 300mA 이상의 파워로 공정이 진행되는 경우, 써멀 스트레스로 인해서 QCM 센서가 안정이 안되는 경우가 있다. 이런 경우에는 QCM을 Alloy로 사용하거나, 증착파워를 낮추는 방법을 시도해 볼 수 있다. 증착 파워를 낮추기 위해서는 냉각 효율을 낮추어야 하기 때문에 라이너를 공중에 띄우는 방법을 사용 하거나, 소스의 양을 조절하는 방법을 사용 할 수 있다. 소스의 양..

참고 사이트 신성카본 http://sscb.co.kr/?mod=document&uid=22&page_id=294 카본흑연 전문 신성카본 카본,carbon,흑연,카본도가니,흑연도가니,카본소재수입 각종형상제조 sscb.co.kr 반도체 진공장비의 고온 공정에 많이 사용되는 히터가 그라파이트 히터이다. 지금은 국산화가 많이 되고, 기술력도 쌓여서 좋은 히터가 많지만, 불과 10년 정도만 해도 변변한 국산히터가 없었다고 해도 할말이 없다. 특히나 고온 공정에 적합한 히터는 사실 지금도 어려움이 많은 것이 사실이다. 1. 그라파이트 히터는 어느 정도 고온(보통 500도 이상)에 가면 저항이 비례적으로 증가하기 시작하면서, 파워 대비 온도 변화 폭이 변하기 때문에(낮은 온도에서는 부특성 범위로 전류가 불안정하다. ..

크리스탈 퀄츠 센서 써멀이나 이빔, 스퍼터 등의 물리 증착 시스템에서 QCM은 박막의 두께를 손쉽게 측정 할 수 있는 중요 부품이다. 보통 초당 증착 속도와 박막의 두께를 실시간으로 확인 할 수 있기 때문에, 정확한 박막의 두께를 제어 할 수 있고, 안정정인 증착 속도를 확인하면서 자동으로 파워를 조절하여 자동 공정에서는 필수 적인 부품으로 자리잡고 있다. 크리스탈 센서는 육각기둥처럼 생긴 다면체의 수정막대기에서 만들어진다. 수정 막대기를 얇은 원형 웨이퍼 형태로 가공한다. 보통 1/10000인치로 알려져 있다. 가공된 크리스탈의 한쪽면에 윤곽을 그리고, 세정한 후 얇은 금속막으로 한쪽면을 코팅한다. 뒷면은 열쇠구멍 모양으로 코팅한다. 동작하는 기본 원리는 수정과 같은 결정체가 압력을 받거나 눌리면 전지..

윈도우10에 있는 게임 녹화 기능인데, 이거 아주 편하다. 윈도우키+alt+r 이렇게 하면, 화면 녹화가 시작 된다.

최근에 국내 업체 아토벡 스로틀 밸브 컨트롤러를 사용하고 있는데, 사용자가 압력 조절과 위치 조절을 스위칭 하면서 사용하고 싶어한다. 자동제어 프로그램으로 구성하려고 보니, 하나의 셋포인트를 사용하는 것보다는, SP1은 압력조절 모드로, SP2는 위치조절 모드로 사용하는 것이 좋겠다. 명령어는 다음과 같다. 처음 프로그램 구동하면서, 한번만 설정 해주면 된다. 각각 모드를 선택하고, 구동하게끔 해준다. 각각의 레서피 레이어에 압력/포지션 모드를 선택 할 수 있게 해주어야 한다.

직각 삼각형에서 a와 b를 알고 있는 상태에서 각도를 알고 싶다. 각도는 atan(b/a)*180/PI 아크탄젠트 값은 라디안 값으로 나온다. 각도로 환산하기 위해서는 1 radian=180/PI이므로 위의 공식이 나온다.