일반 DC 파워를 상승 - 유지 -하락 제어 하고 싶은 경우 참고 파일

날이 추워지자 차에서 또 이상한 소리가 나기 시작한다. 특히 방지턱을 넘을때 소리가 크게 나기 시작했다. 날이 추워지면서 소리는 점점더 커지기 시작했다. "삐그덕, 삐그덕" 아이들 삑삑소리나는 것같은 그런 비슷한 소리였다. "뭐지?" 상당히 거슬리는 소리이고, 앞바퀴가 방지턱을 넘을 때 나는 소리였다." "이거 또 돈달라는 소리같은데?" 돈 나갈 생각을 하니, 걱정 부터 되었다. "얼마나 나갈까?" 인터넷을 뒤지기 시작했다. 과연 어떤 부품을 갈아야 하는 것인가? 찾아보니, 로드암부시를 교체할 때가 되면 이런 소리가 나는 것 같았다. 교체 비용은 대략 20만원 정도? 실제 가보면 대충 50만원은 나올 것 같았다. 그렇게 시간을 보내고, 예약을 하고 가보니, 오일도 갈아야 하고, 워셔액 펌프도 맛이 가고...

레스커 참고자료 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ag2 Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com

증착 장비에서 대표적인 것이 써멀과 이빔이다. 써멀시스템의 경우 대용량의 빠른 속도 증착이 가능하지만 일정한 레이트 조절은 한계가 있다. 돔으로 많은 샘플을 만들 경우에도 써멀시스템이 유리하다. 반면에 이빔은 의외로 빠른속도 증착이 어려운 경우가 많다. 써멀은 소소가 녹으면서 넓게 퍼지는 반면, 이빔은 에로우 존이 좁아지면서 돔으로 구성하는 경우 균일도 확보가 다소 어렵다. 이때 가장 중요한 것은 에로우 존은 최대 30도 정도로 생각하고 돔을 구성해야 한다. 소스와 돔의 거리가 중요한데, 이때 돔의 크기가 소스에서 30도 안에 들어오도록 구성해 주어야 균일도가 틀어지지 않는다.(경험상 450mm 32도가 최대이다.) 그리고, 거리가 멀어지면(증기압, 민프리패스의 영향 등) 급속도로 균일도가 감소한다. 균..

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인 증착기 중에 하나이다. 주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다. 기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다. 이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다. 그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다. 피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해..

반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다. 가장 중요한 것은 안전이겠지요. 자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다. 도움이 되었으면 좋겠습니다. 참고파일 1 참고파일 2 참고파일3 참고사이트 1 https://www.kgu.or.kr/dict/info5 한국가스연맹 한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내. kgu.or.kr 가스의 분류