스퍼터링에서 세라믹 타겟이 깨지는 이유는 몇가지가 있습니다. 1. 최대 전력 밀도 적용 할 수 잇는 파워의 양은 물질, 재료 마다 다릅니다. 가장 일반적인 재료에 관한 권장 파워 또는 최대 전력밀도를 확인 하고 범위안에서 사용하는 것이 좋습니다. 2. 램핑 파워 일부 재료는 느린 전력 변화가 필요합니다. 급격한 파워 변화로 인한 스트레스는 재료의 파손을 초래하게 됩니다. 일부 물질, 재료는 램핑 과정이 필요합니다. 일반 적인 램핑은 다음과 같습니다. 초기 방전 압력을 5.0E-2 Torr 정도에서 시작합니다. 플라즈마가 안정적으로 유지되는 공정압력으로 감압합니다. 압력이 내려가면서 증착 속도가 증가합니다. 방전으로 플라즈마를 안정화 시키면서 파워를 분당 20W 이하로 증가 시킵니다. 최대 허용 전력 밀도..

스펠멘 파워 서플라이 통신 명령어중 아날로그 값 리딩 레퍼런스 명령어

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참고 사이트 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221432019669 Heater - SiC, PBN, W, Graphite lee_jinhwan님의블로그 blog.naver.com 증착 공정에서 산소를 사용하는 경우 제약이 많이 따르게 된다. 고온에서 사용하는 경우에는 구조물들의 내구성에도 신경을 써야 한다. 히터의 라이프 타임을 연장하기 위해 고려해야 하는 내용 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/220781334638 Heater Lifetime 연장 1. KANTHAL 소재 사용 1) 열선은 열을 받으면 산화 피막을 형성하는데 이 피막이 추가적인 산회피막... blog.naver.com 그라파이트 히터와 SiC 코팅 그라파이터 히터의 ..

열처리, 열을 다루는 것은 인류가 보유한 기술의 근본이 되는 것이다. 예전에는 장인의 눈썰미와 경험으로 온도를 맞추었다면, 지금은 다양한 측정기기를 이용하여 그것을 제어하는 것이 차이 일 것이다. 온도를 측정하는 방법은 다양한 방법이 있다. 크게 보면, 접촉식 방식과 비접촉식 방식으로 생각해 볼 수 있는데, 접촉식 방식은 열전대, 저항온도계, 써어미스터, 반도체 온도계, 유리제 온도계 등이 있다. 비접촉 방식은 광고온계, 복사온도계, 광섬유온도계 등이 있다. 이중에서 가격대비 성능비로 가장 적합한 것은 열전대이다. 특히 K 타입 열전대의 경우 산업현장에서 온도 범위의 적합성으로 가장 많이 사용되는 것이라 볼 수 있다. 열전대의 원리는 지벡효과에 기인한다. 1821년 토마스 지벡Thomas Seebeck은..

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