엔지니어링(196)
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IMM-200과 STM-2 비교
STM-2 하나 더 비교 IMM-100
2021.05.18 -
랩뷰 스트럭쳐 구조 자동크기 조절 기능 해제 프로그램
랩뷰에서 편리하라고 만든 기능 중에 하나가 구조 자동 크기 조절 입니다. 그런데, 이게 가끔은 프로그램을 망치는 일이 있습니다. 프로그램 규모가 커지면 문제가 점점 더 심해집니다. 그냥 안쓰는 것이 속편한 기능입니다. 기존에 만들어져 있는 프로그램에서 이 기능을 해제하려면 손이 많이 갑니다. 이 프로그램으로 폴더 선택하고 실행하면 해제 됩니다. 해제 하려는 프로그램 소스 띄어 놓고, 경로 지정해 주면 됩니다. 암호는 풀어 놓고요.
2021.03.30 -
CVD 장비에 사용 가능한 게이지 조합 추천
고진공 범위까지 사용하는 CVD 장비에 적절한 게이지를 사용하지 않으면, 계속 불량나고 망가지는 일이 발생합니다. 적합한 게이지를 선택하는 것은 매우 중요합니다. 1, 컨트롤러 MX200 Vacuum Controller 2. 저진공 게이지 4A Convection Gauge 3. 고진공 게이지 7FC Double Inverted Magnetron Cleanable Cold Cathode Sensor CVD 장비나 에칭 장비는 증착하면서 발생하는 파우더에 영향을 받기도 하고, 가스와 반응하기도 한다. 그리고, 챔버 크리닝 가스에도 오염되거나 문제가 발생할 가능성이 높다. 내구성이 있고, 오염에 강하면서 크리닝이 손쉬운 게이지를 선택하는 것이 중요하다.
2021.03.30 -
CVD 방법으로 만드는 박막과 생성물 예시
평판형 플라즈마 CVD로 생성 가능한 박막과 생성물의 예시
2021.03.18 -
반도체 제조 설비의 시그널 타워 구성 고려 할 점
제조 설비의 시그널 타워는 설비가 어떠한 상태에 있는지 시각적으로 인식할 수 있게 해주는 중요한 역할을 한다. 시그널 타워를 통해 구분되어 있는 설비의 상태는 크게 다음과 같다. 1. 설비에 이상이 있는지 유무 2. 설비가 작동 되고 있는지 유무 3. 설비가 작동 하고 있으나, 작업을 하고 있는지 유무 4. 설비가 작동하고 있으나, 작업이 완료 되었는지 유무 이 밖에도 램프의 동작 상태에 따라 많은 것을 표시 할 수 있다. 제조 설비의 시그널타워 구성은 3단 램프 또는 4단 램프등 다단으로 구성되며, 각각의 램프 구성에 따라서 시각적으로 설비의 상태를 표시하게 된다. 가스 공급 장치의 설비 예를 들어보면, 적색의 경우, 비상상황, 가연성 가스의 농도가 화재 수준으로 감지 되거나, 유출 등이 감지 되는 경..
2021.03.05 -
기체의 가스와 증기에 대해서
기체는 가스(Gas)와 증기(Vapor)로 나누어 생각 할 수 있다. 그 차이점은 가스는 상온 상압하에서 일정한 공간을 점유한 무정형 유체를 의미하면, 25도, 1기압 상태에서 기체상태로 존재한다. 반면, 증기(Vapor)는 25도 기준 상온 상압에서 액체 또는 고체로 존재하는 물질이 압력 강하(진공) 온도상승(Thermal, E-Beam, Heat)으로 인해 기체 상태로 존재하는 유체로서 보통 기체와 액적이 섞여 있는 상태로 있게 된다. 보통의 물리적인 증착 시스템은 이러한 액적상태의 물질이 씨드를 형성하는 것을 이용한다. 그런면에서, True Gas라 함은, Critical Point 압력에 관계없이 물질의 액체상태가 더 이상 존재하지 않게 되는 온도, 즉 임계점 이상의 온도로 존재하는 가스를 의미한..
2021.02.26