참고 사이트 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/221432019669 Heater - SiC, PBN, W, Graphite lee_jinhwan님의블로그 blog.naver.com 증착 공정에서 산소를 사용하는 경우 제약이 많이 따르게 된다. 고온에서 사용하는 경우에는 구조물들의 내구성에도 신경을 써야 한다. 히터의 라이프 타임을 연장하기 위해 고려해야 하는 내용 https://m.blog.naver.com/lee_jinhwan/220781334638 Heater Lifetime 연장 1. KANTHAL 소재 사용 1) 열선은 열을 받으면 산화 피막을 형성하는데 이 피막이 추가적인 산회피막... blog.naver.com 그라파이트 히터와 SiC 코팅 그라파이터 히터의 ..

열처리, 열을 다루는 것은 인류가 보유한 기술의 근본이 되는 것이다. 예전에는 장인의 눈썰미와 경험으로 온도를 맞추었다면, 지금은 다양한 측정기기를 이용하여 그것을 제어하는 것이 차이 일 것이다. 온도를 측정하는 방법은 다양한 방법이 있다. 크게 보면, 접촉식 방식과 비접촉식 방식으로 생각해 볼 수 있는데, 접촉식 방식은 열전대, 저항온도계, 써어미스터, 반도체 온도계, 유리제 온도계 등이 있다. 비접촉 방식은 광고온계, 복사온도계, 광섬유온도계 등이 있다. 이중에서 가격대비 성능비로 가장 적합한 것은 열전대이다. 특히 K 타입 열전대의 경우 산업현장에서 온도 범위의 적합성으로 가장 많이 사용되는 것이라 볼 수 있다. 열전대의 원리는 지벡효과에 기인한다. 1821년 토마스 지벡Thomas Seebeck은..

매뉴얼 사양 통신 명령

텔레마크 이빔 증착 과련 참고 자료.

초고진공 배기 영역에서 꼭 필요한 펌프가 이온펌프 입니다. 그리고, 이온펌프에 꼭 있어야 하는 것이 TSP이고요. ​ 이온펌프는 여러 메이커가 있지만, 그 구조는 차이가 크게 없습니다. ​ 저는 주로 에이질런트 제품을 사용하는데, 에이질런트 이온펌프와 TSP 컨트롤러가 인증이 있어서 납품하고 서류 처리하는데 편하더군요. 뭐 특별히 성능면에서 고려하고 사용하지는 않았습니다. 아무래도 메이저 메이커니까 기타 다른 메이커보다 성능도 우수하다고 봅니다. ​ 최근에 TSP를 자동으로 동작할 필요가 있어서 프로그램을 작성하려다 보니, CRC계산을 해야 하더군요. 굉장히 불편합니다. ​ 그냥 켜고 끄기만 하면 되는데요. ​ CRC 계산은 다음과 같습니다. ​ 간단한 명령어 예제를 보면, ​ CRC= hADDR XOR..

기체는 움직인다. 그러면 어떻게 움직이는가? 가스의 움직임을 해석하기 위한 인간의 노력은 기체의 운동 이론을 바탕으로 해석 되었다. 즉, 기체의 운동 이론은 기체의 움직임을 설명하기 위한 하나의 가설이다. 이 가설을 위해서 이상기체를 가정한다. 이상기체의 가정 1. 기체 분자는 질량은 존재하지만, 부피는 존재하지 않는다. 2. 기체 분자는 서로간에 힘을 주고 받지 않는다. 3. 기체 분자가 일으키는 모든 충돌은 완전 탄성 충돌이다. 4. 기체 분자들은 속력의 분포를 갖고, 무질서 하게 움직인다. 5. 기체 분자의 평균 분자 운동 에너지는 절대 온도에만 비례하며, 분자의 크기, 모양 및 종류에는 영향을 받지 않는다. 6. 순수한 기체는 많은 개수의 동일한 분자로 구성되어 있으며, 이 분자들은 자신의 크기보..