TROUBLESHOOTING 1. 파워서플라이. 이온 소스 시스템이 작동하지 않으면 파워서플라이, 이온 소스또는 기타 컴포넌트 결함이 있는지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 파워서플라이가 문제로 의심되는 경우 이온 소스는 일반적으로 작동 압력(operating pressure)까지 펌핑되는 진공 챔버 내에 있습니다. 문제 해결은 배큠챔버를 대기 (atmosphere)로 배출하여 수행할 수 있지만 작동 압력 (operating pressure)으로 다시 펌핑하는 데 상당한 시간이 소요됩니다. 가장 좋은 순서는 환기 없이 최소한 초기 문제 해결을 수행하는 것입니다. 이온 소스 내에서 반응성 가스가 사용되는 경우 anode에 절연 코팅이 생성될 수있습니다. 이 절연 코팅은 일반적으로 실행 중에는 문제가 되지 ..

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다. 선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다. 전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다. 우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요. 그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다. 이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다. QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것? 그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다. 연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다. 가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다. 다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야..

금을 증착하면서 이빔 소스 파워가 80%를 넘는다면 다른 방법을 찾아야 한다. 많은 문제가 발생 할 수 있지만, 가장 주의 해야하는 것은 냉각수 라인에서 발생하는 헌팅 현상이다. 냉가수라인에 심각한 문제가 발생 할 수 있다.

금을 박막으로 올리면서, 가장 적합한 라이너는 몰리가 아닌가 생각된다. 텅스텐도 많이 사용하지만, 아무래도 spit 현상을 감소 시키기 위해서는 텅스텐 보다는 몰리가 적합하다. 그라파이트 라이너에 유리질 카본을 코팅한 것도 상당히 좋다. 다만, 금은 열전도율이 좋아서, 냉각이 잘되면 증착레이트 파워가 굉장히 많이 소진되는 경우가 있다. 300mA 이상의 파워로 공정이 진행되는 경우, 써멀 스트레스로 인해서 QCM 센서가 안정이 안되는 경우가 있다. 이런 경우에는 QCM을 Alloy로 사용하거나, 증착파워를 낮추는 방법을 시도해 볼 수 있다. 증착 파워를 낮추기 위해서는 냉각 효율을 낮추어야 하기 때문에 라이너를 공중에 띄우는 방법을 사용 하거나, 소스의 양을 조절하는 방법을 사용 할 수 있다. 소스의 양..

참고 사이트 신성카본 http://sscb.co.kr/?mod=document&uid=22&page_id=294 카본흑연 전문 신성카본 카본,carbon,흑연,카본도가니,흑연도가니,카본소재수입 각종형상제조 sscb.co.kr 반도체 진공장비의 고온 공정에 많이 사용되는 히터가 그라파이트 히터이다. 지금은 국산화가 많이 되고, 기술력도 쌓여서 좋은 히터가 많지만, 불과 10년 정도만 해도 변변한 국산히터가 없었다고 해도 할말이 없다. 특히나 고온 공정에 적합한 히터는 사실 지금도 어려움이 많은 것이 사실이다. 1. 그라파이트 히터는 어느 정도 고온(보통 500도 이상)에 가면 저항이 비례적으로 증가하기 시작하면서, 파워 대비 온도 변화 폭이 변하기 때문에(낮은 온도에서는 부특성 범위로 전류가 불안정하다. ..

크리스탈 퀄츠 센서 써멀이나 이빔, 스퍼터 등의 물리 증착 시스템에서 QCM은 박막의 두께를 손쉽게 측정 할 수 있는 중요 부품이다. 보통 초당 증착 속도와 박막의 두께를 실시간으로 확인 할 수 있기 때문에, 정확한 박막의 두께를 제어 할 수 있고, 안정정인 증착 속도를 확인하면서 자동으로 파워를 조절하여 자동 공정에서는 필수 적인 부품으로 자리잡고 있다. 크리스탈 센서는 육각기둥처럼 생긴 다면체의 수정막대기에서 만들어진다. 수정 막대기를 얇은 원형 웨이퍼 형태로 가공한다. 보통 1/10000인치로 알려져 있다. 가공된 크리스탈의 한쪽면에 윤곽을 그리고, 세정한 후 얇은 금속막으로 한쪽면을 코팅한다. 뒷면은 열쇠구멍 모양으로 코팅한다. 동작하는 기본 원리는 수정과 같은 결정체가 압력을 받거나 눌리면 전지..