설정주소 헥사 변환 테이블 입니다. 서로 다른 팀에서 만들었는지, 어드레스 영역 별로 어떤것은 헥사, 어떤것은 십진수, 참 중구 난방으로 만드었더군요. M접점 사용 하는 경우에는 헥사로 해주어야 정상적으로 인식 됩니다. 주소 체계가 D어드레스하고는 또 다릅니다.

1. 구성 참고 사진 2. 캐소드 문제가 발생하기 전에 캐소드를 교체하는 것은 장비 유지 보수 측면에서 중요하다. 시간이 경과하면서 가열 전류가 감소하기 시작한다. 20%에서 30% 정도 가열전류가 감소 했다면, 교체를 해주어야 한다. 자주 교체를 해주어야 하는 상황이라면, 물론 사용빈도에 따라서 다르겠지만, 가스라인을 점검해 보는 것이 좋다. 가스 순도와 라인의 상태는 캐소드의 라이프타임에 가장 영향을 많이 주는 것이다. 그리고, 공정이 끝난 후 15분이상 가스를 흘려주면서 냉각을 시켜주는 것도 중요하다. 충분한 냉각없이 벤트를 하거나 산소에 노출을 시키게 되면, 변형 및 오염의 문제를 일으키게 된다. 3. 키퍼 키퍼는 캐소드보다 라이프 타임이 긴 편에 속한다. 보통 가운데 있는 구멍의 크기가 커지면서..

참고 사이트 www.micquartz.com/ko/the-thermal-expansion-coefficient-of-quartz-glass/ 석영 유리의 열팽창 계수 | 중국 석영 유리 공급 업체 석영 유리의 열팽창 계수는 일반 유리의 1 / 10에서 1 / 20까지입니다. 석영 유리의 순도는 팽창 계수에 영향을 미친다. 일반적인 투명 석영 유리 (0-100 ℃)의 선팽창 계수는 5.4 × 10-7이다. 불투명 석 www.micquartz.com 쿼츠 부품 설계시 공차를 감안해야 한다. 쿼츠 내부에 그라파이트 소재가 끼워져 있는 구조인 경우 두 부품의 팽창을 계산하여, 가공해야 한다. 또 하나 감안해야 하는 것은 쿼츠 부품의 가공성이 그리 좋지 않기때문에 가공 가능한 공차를 감안해야 한다는 것이다. 1...

이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다. 이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다. 그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다. 일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다. 알루미늄이 대표적인 물질입니다. 알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다. 열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다. 알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.

스퍼터 세라믹 타겟을 사용하다가 보면, 본딩재료인 인듐이 녹아서 나오는 경우가 있다. 인듐이 녹아서 나온다는 것은 냉각에 문제가 있다는 것을 의미한다. 본딩 자체가 잘못되어서 나오는 경우도 있는데, 인듐을 너무 많이 넣은 경우 이런 문제가 발생 할 수 있다. 그러나, 보통의 업체에서 이러한 실수를 하는 경우는 드물다. 인듐이 녹아서 나오는 가장 주요한 원인은 스퍼터 건에 필요한 냉각수가 용량, 또는 온도가 충분하지 않은 경우가 대부분이다. 냉각수에 문제가 있으면, 낮은 녹는점을 갖고 있는 인듐은 버티지 못하고 녹아서 흘러 내리게 된다. 그러면서 건과의 절연이 깨지면서 문제가 생기게 된다. 냉각 용량이 충분한 경우에도 이러한 문제가 발생 할 수 있는데, 주로 세라믹 타겟에서 많이 발생 할 수 있다. 열전도..

스퍼터 타겟은 물질의 특성상 본딩(금속 접합 백킹 플레이트)가 필요한 경우가 있습니다. 다양한 이유로 백킹 플레이트 본딩이 필요한데, 가장 주요한 이유는 스퍼터링 물질의 특성을 유지하기 위한 것입니다. 모든 물질을 본딩 할 필요는 없습니다. 금, 알루미늄, 은, 구리, 철 과 같은 금속들은 탄성계수가 낮고, 고전도성, 연성 금속은 일반적으로 하지 않아도 됩니다. 반면에 크롬, 안티몬, 비스무트, 이리듐, 코발트와 같이 부서지기 쉬운 금속은 본딩을 해주어야 합니다. 그리고, 산화물, 질화물, 탄화물, 유리와 같은 대부분의 무기 비금속 세라믹은 사용하기 전에 백킹플레이트에 본딩을 해주어야 합니다. 물론 다양한 이유로 본딩이 필요하기 때무에 물질의 특성을 확인 하는 것이 중요합니다. 그러나, 가장 큰 이유는 ..