모든 진공용 드라이 펌프가 동일하지는 않겠지만, 기본적으로 냉각수를 필요로 하는 펌프의 경우 경고 신호가 발생하게 되고, 일정 시간이 경과하게 되면, 알람을 발생 시키면서 동작이 정지 하게 된다. 경고 유지 시간은 메이커 별로 다르기 때문에, 정확한 동작 순서와 알람 발생 신호는 확인을 해보는 것이 좋다. 만약 냉각수에 문제가 생겨서 바로 정지하는 펌프라면, 안정성에 문제가 있을 수 있다. 공정 도중 냉각수 문제로 펌프가 가 바로 정지해 버리는 경우, 잔류 가스의 처리와 기타 다른 펌프류에 영향을 줄 수 있기 때문이다. 드라이 펌프 냉각수에 문제가 발생하여, 경고 신호가 시스템에 들어간다면, 시스템은 정해진 안전 시퀀시를 따라서 시스템을 정지 할 수 있게 구성해 주어야 한다. 특히 반도체 라인이나 디스플..

오랜만에 GPIB 장비를 사용하게 되어서, 달려있는 것을 보니 생소한 제품이 달려있더군요. 이게 참 잘 안됩니다. www.icselect.com/USB_to_GPIB_Controller.html

구리는 박막 증착에서 많이 사용되는 물질 입니다. 녹는점은 1083도씨, 밀도는 8.92g/cc, 증기압은 1017도씨에서 10E-4Torr 입니다. 일반적으로 구리의 경우 접촉력이 좋지 않기 때문에, 크롬이나 타이같은 중간층이 필요합니다. 참고자료 써멀 증착을 할 때는 텅스텐이나 몰리브덴 보트를 사용합니다. 증착 소스가 많이 필요한 경우에는 알루미나 도가니와 함께 차폐형 탄탈 도가니 히터를 사용하는 것입니다. 차폐형 히터를 사용하는 경우에는 설치에 유의해야 합니다. 뒤틀리게 되면, 전극이 끊어지게 됩니다. 그밖에도 알루미나 코팅 바스켓을 사용 할 수도 있습니다. 하지만, 알루미나 코팅 바스켓의 경우 몇번 사용하다가 보면, 깨지는 현상이 발생하게 됩니다. 이러한 현상을 최소한으로 줄이기 위해서는 천천히 ..

1. Protocol Server 설치 2. LabVIEW 어플리케이션 설치 3. 디바이스 드라이버 설치 다운로드 참고 사이트 products.inficon.com/ko-kr/nav-products/product/detail/stm-2-qcm-monitor/ STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 - INFICON STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터 크기가 작고 저렴하지만 뛰어난 성능 STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단 products.inficon.com 통신 프로토콜

기계 강성이란 외령에 의한 변형에 저항하는 단단함 이라는 잘 이해 안되는 설명으로 시작한다. 이것은 기계에 외력이 가해지면, 변형이 완료 될 때까지 기계의 반응이 지연된다는 것을 의미하는데, 쉽게 이해하면, 그냥 고강성 기계는 저강성 기계에 비해 반응이 빠른다는 것이다. 이것은 고유 주파수로 표현 할 수 있다. 즉, 고강성의 의미는 기계가 높은 고유 주파수와 높은 제어성을 가진다는 뜻이다. 서보모터에서는 위치제어주파수(위치루프게인)가 기계 시스템(부하)의 고유주파수를 초과하면 제어 동작에 반응 할 수 없기 때문에(요란한 소리가 난다) 구동에 문제가 생긴다. 그러므로 고강성 시스템은 높은 위치루프게인을 가질 수 있고, 이것은 빠른 응답이 가능하다는 것을 의미한다. 시스템의 강성을 아는 것은 서보모터의 최적..

라이터로 써머커플의 온도를 측정해보면 대략 700에서 800도 정도 나옵니다. 주변 환경에 따라 다르지만, 1000도가 넘거나 500도 이하로 나오면, 써머커플의 상태를 의심해 보아야 합니다.