반도체나 디스플레이 업종에서 알루미늄 박막은 활용도가 높습니다. 거의 필수 소재라고 할 수 있습니다. 최근 디스플레이에 활용되는 OLED에서도 알루미늄은 빠질 수 없는 소재입니다. 이런 알루미늄 박막은 흔히 말하는 PVD 써멀 증착기를 이용해서 만들어지게 됩니다. 진공 장치가 필요하고, 얇은 박막을 제조하다 보니 QCM 센서가 필요합니다. 그리고, 알루미늄을 녹이기 위한 보트, 즉 히터가 필요합니다. 개중에는 섭스트레이트 히팅을 필요로 하는 경우도 있으나, 알루미늄 박막은 히팅 보다는 오히려 냉각이 필요한 경우가 더 많습니다. 먼저 진공시스템에 대해서 살펴보면, 알루미늄 박막은 아주 높은 진공상태를 필요로 합니다. 그 이유는 알루미늄이 활성 금속이기 때문입니다. 반응을 잘 한다는 의미입니다. 특히 산소와..

자동 공정 레서피를 만들어 볼까 합니다. 사용하는 가스는 5개, RF파워는 위아래로 2개 각각 13.56MHz, 12.56MHz로 주파수 변조를 해서 간섭이 없게 구성합니다. 공정 압력은 최대 1Torr까지 설정 가능하게 구성합니다. 1. 시스템 파라미터 설정 시스템 파라미터의 레시피 데이터베이스를 구성합니다. 각각 필요한 아이템이름을 지정하고, 데이터 형식을 맞추어 줍니다. 크기는 구성되는 바이트 크기이고, 표시너비는 터치 화면에 얼마나 표시되는지 설정합니다. 2. PLC와 연동하다가 보면, 매크로가 필요합니다. PLC에 설정되어 있는 데이타 확인 몇번째 레이어 인지 확인 하는 메크로 3. 데이터 전송 설정 4. 파일 가져오기내보내기 설정 5. 레서피 파일 불러서 첨가하기 6. 레서피 파일 지우기 설정..

최근 OLED 제품에 생산되는 증착 장비에서 글러브 박스는 필수 아이템중 하나입니다. 최근 연구용 시스템으로 구성되는 OLED 증착 시스템을 보면, 증착챔버와 샘플로딩을 위한 로드락 챔버, 그리고 글러브 박스가 도킹되어 있는 형태로 제작 되는 경우가 많습니다. 로드락 챔버는 마스크 체인지와 크리닝 장치를 부착하여 좀더 효율성을 높이는 경우가 많습니다. 오늘은 이런 로드락챔버의 양압 관련한 내용을 적어 볼까 합니다. 샘플 로딩을 위한 로드락 챔버는 벤트를 하고, 글러브 박스를 통해 로딩을 하게 됩니다. 이런 형태의 로딩은 챔버 도어 부분에 진공이 아닌 양압이 걸리는 상태가 됩니다. 보통의 증착 장비는 양압에 대한 대비가 없습니다. 그러나, 이런 형태의 챔버는 양압에 대한 대비가 있어야 합니다. 대기압이상으..

커프만 이온빔 매뉴얼 입니다. 통신으로 제어해서 통신부분 매뉴얼 확인이 필요합니다.

An automatic controller is normally used for startup or shutdown of an endHall source. The sequence most often used is described below. Knowledge of this sequence should be useful in programming a controller, or troubleshooting when operating problems arise. The currents and voltages used are defined in Fig. VI-2. 1. Pumpdown. The vacuum chamber in which the gridless source is installed shoul be..

무반사(AR) 코팅 글래스는 말그대로 반사가 되지 않도록 하는 코팅이다. PLD 장비에서 프레넬 반사에 따르면 빛의 경우 공기중에서 빛의 약 4%정도가 반사된다. 투과 되는 빛은 92%정도가 되는 것으로 알려져 있다. 레이저를 사용하는 PLD 시스템은 반사로 인해 레이저 광의 출력이 감소 되고, 레이저 유도 손상을 발생 시킬 수 있다. AR 코팅을 적용하면, 시스템의 출령량이 증가하고, 반사되는 빛이 다시 시스템 내부로 입사 되기 때문에 고스트 이미지를 생성하는 피해를 줄일 수 있다. 이것은 증착률에도 많은 영향을 주게 된다. AR 코팅 박막은 상단 및 하단 경계에서 반사되는 빔 간의 상대적 위상변이가 180도가 되도록 설계된다.